[实用新型]平面度及厚度检测装置

权利要求书

1.一种平面度及厚度检测装置，包括承载平台及安装在所述承载平台上的承载架及测量机构，所述承载架用于承载待测件，所述测量机构用于测量所述待测件上待测点到所述测量机构的距离，所述承载架包括承载板，其特征在于：所述测量机构包括两组测量件，所述两组测量件安装在所述承载平台上，且位于所述承载板的两侧，分别对应待测件的上下表面，每组测量件通过各自对应的上、下表面的反射光测量待测点到对应组测量件的距离。

2.如权利要求1所述的平面度及厚度检测装置，其特征在于：所述两组测量件测量的上下表面间任意待测点之间的连线与所述承载板均不垂直。

3.如权利要求1所述的平面度及厚度检测装置，其特征在于：所述平面度及厚度检测装置还包括移动机构，所述移动机构安装在所述承载平台上，用于移动所述测量机构。

4.如权利要求3所述的平面度及厚度检测装置，其特征在于：所述移动机构包括X轴滑动组件，用于驱使所述测量机构沿X轴方向移动，所述X轴滑动组件包括直线导轨、滚珠丝杠、电机及滑板，所述直线导轨及所述滚珠丝杠安装在所述承载平台上，所述电机固定在所述滚珠丝杠的螺杆一端，所述滑板滑动装设在所述直线导轨及所述滚珠丝杠上。

5.如权利要求4所述的平面度及厚度检测装置，其特征在于：所述移动机构还包括Y轴滑动组件，所述Y轴滑动组件包括固定在所述滑板上的底座、装设在所述底座上的导轨、与所述导轨滑动安装的导板、固定在所述导板上的立柱及两上 下安装在所述立柱之间的安装板，所述安装板用于安装所述测量机构，且分别位于所述承载板的上下两侧。

6.如权利要求5所述的平面度及厚度检测装置，其特征在于：所述Y轴滑动组件还包括安装在所述底座外侧的Y轴微调件，所述Y轴微调件用于对所述安装板相对所述底座在Y方向上的位移进行微调。

7.如权利要求5所述的平面度及厚度检测装置，其特征在于：所述移动机构还包括Z轴滑动组件，所述Z轴滑动组件分别安装包括固定架及Z轴微调件，所述固定架包括水平安装在所述安装板上的安装块、大致垂直所述安装块的安装条及装设在所述安装条上的Z轴导轨，所述安装块通过滑块与装设在安装板上的Y轴导轨滑动安装在一起。

8.如权利要求7所述的平面度及厚度检测装置，其特征在于：所述Z轴微调件与一Z轴锁定片安装在所述安装板上，用于对所述测量机构相对所述安装板在Z方向上的位移进行微调。

9.如权利要求5所述的平面度及厚度检测装置，其特征在于：所述安装板上还安装Y向微调件，用于对所述测量机构相对所述安装板在Y方向上的位移进行微调。

10.如权利要求1-9任一所述的平面度及厚度检测装置，其特征在于：所述测量件为激光传感器或同轴共焦传感器。