[实用新型]基于曲柄滑块机构实现快速同步扫描的装置有效
| 申请号: | 201720932612.3 | 申请日: | 2017-07-28 |
| 公开(公告)号: | CN207148048U | 公开(公告)日: | 2018-03-27 |
| 发明(设计)人: | 李进春;张国方;裘揆;黄威 | 申请(专利权)人: | 上海和伍精密仪器股份有限公司 |
| 主分类号: | G01N29/06 | 分类号: | G01N29/06 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 200240 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 基于 曲柄 机构 实现 快速 同步 扫描 装置 | ||
1.一种基于曲柄滑块机构实现快速同步扫描的装置,其特征在于:包括:包括:第一运动机构、第二运动机构、检测部件;其中:
所述第一运动机构沿第一方向做往复直线运动,所述第二运动机构沿第二方向运动;所述检测部件与所述第一运动机构、所述第二运动机构中一个连接,检测样品则与所述第一运动机构、所述第二运动机构中另一个连接,所述第一运动机构、所述第二运动机构带动所述检测样品、所述检测部件实现第一方向往复直线运动、第二方向运动;所述第一运动机构与所述第二运动机构同步扫描,合成预定的扫描轨迹;
所述第一运动机构为曲柄滑块机构,包括第一驱动部件、第一曲柄、第一连杆、第一滑动部件和第一导向部件,其中:所述第一驱动部件的输出端与所述第一曲柄的一端连接,所述第一连杆的一端与所述第一曲柄的另一端连接,所述第一连杆的另一端与所述第一滑动部件连接;所述第一导向部件与所述第一滑动部件配合,所述第一滑动部件在所述第一导向部件内往复运动;所述检测部件或检测样品与所述第一滑动部件连接;
所述第二运动机构为实现第二方向步进运动、匀速直线运动或变速直线运动的装置,所述第二运动机构带动检测样品或所述检测部件实现第二方向步进运动、匀速直线运动或变速直线运动。
2.根据权利要求1所述的基于曲柄滑块机构实现快速同步扫描的装置,其特征在于:所述第二运动机构包括:第二驱动部件和水平转盘,其中:
所述第二驱动部件连接所述水平转盘并驱动所述水平转盘,所述水平转盘在水平面内第二方向进行步进运动、匀速圆周运动或变速圆周运动,所述检测样品放置在所述水平转盘上并随所述水平转盘在水平面内做第二方向步进运动、匀速圆周运动或变速圆周运动。
3.根据权利要求1所述的基于曲柄滑块机构实现快速同步扫描的装置,其特征在于:所述第二运动机构包括:第三驱动部件和垂直转盘,其中:
所述第三驱动部件连接所述垂直转盘并驱动所述垂直转盘,所述垂直转盘在竖直面内进行第二方向步进运动、匀速圆周运动或变速圆周运动,所述检测样品放置在所述垂直转盘上并随所述垂直转盘在竖直面内做第二方向步进运动、匀速圆周运动或变速圆周运动。
4.根据权利要求1所述的基于曲柄滑块机构实现快速同步扫描的装置,其特征在于:所述装置至少包括以下一个特征:
所述第一滑动部件为滑块;
所述第一导向部件为导轨。
5.根据权利要求1所述的基于曲柄滑块机构实现快速同步扫描的装置,其特征在于:所述装置进一步包括支撑部件,所述支撑部件用于连接和支撑所述第一运动机构、所述第二运动机构。
6.根据权利要求1-5任一项所述的基于曲柄滑块机构实现快速同步扫描的装置,其特征在于:所述装置进一步包括平衡机构,所述平衡机构与所述第一运动机构对称布置,并与所述第一运动机构运动方向相反,以产生与所述第一运动机构大小相等、方向相反的作用力,从而抵消所述第一运动机构的作用力。
7.根据权利要求6所述的基于曲柄滑块机构实现快速同步扫描的装置,其特征在于:所述平衡机构包括:平衡曲柄、平衡连杆、平衡导向部件、平衡滑动部件以及平衡质量块,其中:
所述平衡曲柄与第一驱动部件的输出轴连接,且所述平衡曲柄的安装方向与第一曲柄的安装方向相反,所述平衡连杆的一侧与所述平衡曲柄连接,所述平衡连杆的另一侧与所述平衡滑动部件连接,所述平衡滑动部件与所述平衡导向部件配合,所述平衡质量块固定在所述平衡滑动部件上。
8.根据权利要求7所述的基于曲柄滑块机构实现快速同步扫描的装置,其特征在于:所述第一驱动部件驱动所述平衡曲柄转动,所述平衡曲柄带动所述平衡连杆摆动,所述平衡连杆带动所述平衡滑动部件在所述平衡导向部件内实现往复直线运动,进而带动固定在所述平衡滑动部件上的所述平衡质量块完成往复直线运动。
9.根据权利要求8所述的基于曲柄滑块机构实现快速同步扫描的装置,其特征在于:所述平衡机构至少包括以下一个特征:
所述平衡滑动部件为滑块;
所述平衡导向部件均为导轨。
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