[实用新型]基于凸轮连杆机构实现快速同步扫描的装置有效
申请号: | 201720932351.5 | 申请日: | 2017-07-28 |
公开(公告)号: | CN207148074U | 公开(公告)日: | 2018-03-27 |
发明(设计)人: | 李进春;张国方;裘揆;黄威 | 申请(专利权)人: | 上海和伍精密仪器股份有限公司 |
主分类号: | G01N33/00 | 分类号: | G01N33/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 200240 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 凸轮 连杆机构 实现 快速 同步 扫描 装置 | ||
1.一种基于凸轮连杆机构实现快速同步扫描的装置,其特征在于:所述装置包括:第一运动机构、第二运动机构和检测部件,其中:
所述第一运动机构沿第一方向做往复直线运动,所述第二运动机构沿第二方向运动;所述检测部件与所述第一运动机构、所述第二运动机构中一个连接,检测样品则与所述第一运动机构、所述第二运动机构中另一个连接,所述第一运动机构、所述第二运动机构带动所述检测样品、所述检测部件实现第一方向往复直线运动、第二方向运动;所述第一运动机构与所述第二运动机构同步扫描,合成预定的扫描轨迹;
所述第一运动机构为凸轮连杆机构,包括:第一驱动部件、第一凸轮、第一滚子、第一弹簧、第一连杆、第一滑动部件和第一导向部件,其中:所述第一驱动部件的输出轴与所述第一凸轮的一侧连接,所述第一连杆的一端连接所述第一滚子,所述第一连杆与所述第一滚子之间设置所述第一弹簧,所述第一弹簧使所述第一滚子与所述第一凸轮的轮廓保持接触;所述第一导向部件与所述第一滑动部件配合,所述第一滑动部件在所述第一导向部件内往复运动;所述检测部件或检测样品与所述第一连杆连接。
2.根据权利要求1所述的基于凸轮连杆机构实现快速同步扫描的装置,其特征在于:所述第一驱动部件驱动所述第一凸轮旋转,所述第一弹簧使得所述第一滚子与所述第一凸轮接触,带动所述第一连杆摆动,所述第一连杆带动所述第一滑动部件在所述第一导向部件内实现第一方向往复直线运动,进而带动所述检测部件或检测样品完成第一方向往复直线运动。
3.根据权利要求1所述的基于凸轮连杆机构实现快速同步扫描的装置,其特征在于:所述第二运动机构为实现第二方向步进运动、匀速直线运动或变速直线运动的装置,所述第二运动机构带动所述检测样品或检测部件实现第二方向步进运动、匀速直线运动或变速直线运动。
4.根据权利要求3所述的基于凸轮连杆机构实现快速同步扫描的装置,其特征在于:所述第二运动机构包括:第二驱动部件和水平转盘,其中:
所述第二驱动部件连接所述水平转盘并驱动所述水平转盘,所述水平转盘在水平面内进行第二方向步进运动、匀速圆周运动或变速圆周运动,所述检测样品放置在所述水平转盘上并随所述水平转盘在水平面内做第二方向步进运动、匀速圆周运动或变速圆周运动。
5.根据权利要求3所述的基于凸轮连杆机构实现快速同步扫描的装置,其特征在于:所述第二运动机构包括:第三驱动部件和垂直转盘,其中:
所述第三驱动部件连接所述垂直转盘并驱动所述垂直转盘,所述垂直转盘在竖直面内进行第二方向步进运动、匀速圆周运动或变速圆周运动,所述检测样品放置在所述垂直转盘上并随所述垂直转盘在竖直面内做第二方向步进运动、匀速圆周运动或变速圆周运动。
6.根据权利要求1所述的基于凸轮连杆机构实现快速同步扫描的装置,其特征在于:所述装置进一步包括支撑部件,所述支撑部件用于连接和支撑所述第一运动机构、所述第二运动机构。
7.根据权利要求1-6任一项所述的基于凸轮连杆机构实现快速同步扫描的装置,其特征在于:所述装置进一步包括平衡机构,所述平衡机构与所述第一运动机构对称布置,并与所述第一运动机构运动方向相反,以产生与所述第一运动机构大小相等、方向相反的作用力,从而抵消所述第一运动机构的作用力。
8.根据权利要求7所述的基于凸轮连杆机构实现快速同步扫描的装置,其特征在于:所述平衡机构包括:平衡凸轮、平衡滚子、平衡弹簧、平衡连杆、平衡滑动部件、平衡导向部件以及平衡质量块,其中:
所述平衡凸轮与所述第一驱动部件的输出轴连接,且所述平衡凸轮的安装方向与所述第一凸轮的安装方向相反;所述平衡连杆的一端连接所述平衡滚子;所述平衡滚子、所述平衡连杆之间设置平衡弹簧,所述平衡弹簧使得所述平衡滚子与所述平衡凸轮的轮廓保持接触;所述平衡导向部件与所述平衡滑动部件配合,所述平衡滑动部件在所述平衡导向部件内往复运动;所述平衡质量块与所述平衡连杆连接。
9.根据权利要求8所述的基于凸轮连杆机构实现快速同步扫描的装置,其特征在于:所述第一驱动部件驱动所述平衡凸轮旋转,所述平衡弹簧使得所述平衡滚子与所述平衡凸轮接触,并带动所述平衡连杆摆动,所述平衡连杆带动所述平衡滑动部件在所述平衡导向部件内实现往复直线运动,进而带动所述平衡质量块完成往复直线运动。
10.根据权利要求8所述的基于凸轮连杆机构实现快速同步扫描的装置,其特征在于:所述第一滑动部件和所述平衡滑动部件均为滑块;和/或,
所述第一导向部件和所述平衡导向部件均为导轨。
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