[实用新型]曝光机的光学装置

权利要求书

1.一种曝光机的光学装置，其特征在于，包含：

一发光二极管灯板，用以朝向一水平方向投射一光束；

一复眼透镜组，配置在所述发光二极管灯板的投射路径上且与所述发光二极管灯板层叠排列；及

一转向反射镜，配置在所述发光二极管灯板的投射路径上且所述复眼透镜组配置在所述发光二极管灯板与所述转向反射镜之间，所述转向反射镜用以将所述发光二极管灯板投射的所述光束反射而向下转向一垂直方向。

2.如权利要求1所述的曝光机的光学装置，其特征在于，其中所述复眼透镜组包含一聚光复眼透镜，所述聚光复眼透镜配置在所述发光二极管灯板的投射路径上用以聚集所述发光二极管灯板发出的所述光束。

3.如权利要求2所述的曝光机的光学装置，其特征在于，其中所述聚光复眼透镜与所述发光二极管灯板紧邻且相互间隔配置。

4.如权利要求2所述的曝光机的光学装置，其特征在于，其中所述复眼透镜组包含一均化复眼透镜，所述均化复眼透镜配置在所述发光二极管灯板的投射路径上，且所述聚光复眼透镜配置在所述发光二极管灯板与所述均化复眼透镜之间，所述均化复眼透镜用以均化通过所述聚光复眼透镜聚集的所述光束。

5.如权利要求4所述的曝光机的光学装置，其特征在于，其中所述均化复眼透镜与所述聚光复眼透镜紧邻且相互间隔配置。

6.如权利要求4所述的曝光机的光学装置，其特征在于，其中所述聚光复眼透镜为数个子聚光透镜排列构成，所述均化复眼透镜为数个子均化透镜排列构成，且所述子均化透镜的单位面积排列密度大于所述子聚光透镜的单位面积排列密度。

7.如权利要求1所述的曝光机的光学装置，其特征在于，还包含一聚光透镜，所述聚光透镜配置在所述发光二极管灯板的投射路径上用以聚集所述转向反射镜反射的所述光束。

8.如权利要求1所述的曝光机的光学装置，其特征在于，还包含一光圈，所述光圈配置在所述发光二极管灯板的投射路径上用以限制所述光束的投射截面范围。

9.如权利要求1所述的曝光机的光学装置，其特征在于，其中所述转向反射镜为平面镜。