[实用新型]一种物料供给装置以及晶体生长系统

权利要求书

1.一种物料供给装置，其特征在于，用于向炉体(7)内部的坩埚(11)中供给物料，所述一种物料供给装置包括储料机构、振动输料机构(1)和喂料机构(4)，所述储料机构用于容纳物料且具有出料口，所述振动输料机构(1)包括输料部(105)和振动模组(104)，所述输料部(105)与所述储料机构的出料口对接，所述振动模组(104)作用于所述输料部(105)且使得由储料机构落入所述输料部(105)中的物料在气密状态下移向所述喂料机构(4)，所述喂料机构(4)具有将物料从炉体(7)外部输入炉体(7)内部的喂料通路(43)，物料经所述喂料通路(43)输入所述坩埚(11)中。

2.根据权利要求1所述的一种物料供给装置，其特征在于，所述输料部(105)设置在所述储料机构、振动模组(104)之间，所述输料部(105)具有开口且在输料部(105)内部设置输送物料的振动槽(106)，所述储料机构的出料口设置于所述输料部(105)开口的上方且与所述输料部(105)开口对接，所述振动模组(104)设置于所述输料部(105)开口的下方。

3.根据权利要求2所述的一种物料供给装置，其特征在于，还包括称重传感器(115)，所述称重传感器(115)设置在所述振动模组(104)的下方，用于反馈所述振动槽(106)中物料的重量。

4.根据权利要求3所述的一种物料供给装置，其特征在于，还包括输料容纳部(103)，所述储料机构、振动模组(104)内置于所述输料容纳部(103)，所述输料部(105)的一端伸入所述输料容纳部(103)，所述输料部(105)的开口处于所述输料容纳部(103)中且对接所述储料机构的出料口。

5.根据权利要求4所述的一种物料供给装置，其特征在于，所述称重传感器(115)设置于所述输料容纳部(103)中。

6.根据权利要求2或4所述的一种物料供给装置，其特征在于，还包括至少一个连通管，所述至少一个连通管设置在所述储料机构和输料部的外部，且连通所述储料机构和输料部。

7.根据权利要求4所述的一种物料供给装置，其特征在于，所述输料容纳部(103)开设下料观察窗(113)，透过所述下料观察窗(113)可观察所述储料机构的出料口向所述振动槽(106)落料。

8.根据权利要求2所述的一种物料供给装置，其特征在于，还包括筛分收集装置(112)，所述筛分收集装置(112)连通所述输料部(105)，所述振动槽(106)上开设筛孔，物料在所述振动槽(106)移动并经过所述筛孔，粒径小于所述筛孔的物料落入所述筛分收集装置(112)。

9.根据权利要求2所述的一种物料供给装置，其特征在于，还包括抽空除尘装置(111)，所述抽空除尘装置(111)连通所述输料部(105)。

10.根据权利要求2所述的一种物料供给装置，其特征在于，还包括连通所述输料部(105)的掺杂装置(110)，所述掺杂装置(110)容纳掺杂剂，并使所述掺杂剂落入所述振动槽(106)。

11.根据权利要求2所述的一种物料供给装置，其特征在于，还包括对接机构(2)，所述对接机构(2)设置在所述输料部(105)和喂料机构(4)之间，用于在气密状态下承接所述输料部(105)中的物料并将所述物料传送至喂料机构(4)。

12.根据权利要求11所述的一种物料供给装置，其特征在于，所述输料部(105)包括相连通的水平部和弯折部，所述水平部的内部设置振动槽(106)，所述弯折部处于水平部的下游且对接所述对接机构(2)。