[实用新型]一种带有弹性梁触点的射频MEMS开关

权利要求书

1.一种带有弹性梁触点的射频MEMS开关，其特征在于，所述开关包括：

衬底，所述衬底为所述射频MEMS开关的基座承载体；

上电极，所述上电极为长方体结构，所述上电极一端通过锚点固定在信号线上，所述上电极的中部及另一端延伸于所述衬底水平上方；

下电极，所述下电极包括两个并行排列、并分别具有触点的弹性梁结构，所述触点置于所述上电极另一端的竖直下方；

驱动电极，所述驱动电极置于所述衬底上表面中心处，同时置于所述上电极竖直下方，所述上电极与所述驱动电极相对应位置处开设有释放孔阵列；

所述下电极通过锚点固定在所述信号线上；

引线，所述引线设置在衬底上，与驱动电极相连。

2.根据权利要求1所述的一种带有弹性梁触点的射频MEMS开关，其特征在于，所述释放孔阵列包括多个呈阵列状布置的释放孔；

所述释放孔阵列包括3-4排，按所述信号线的长度方向排列，任意一排的释放孔数量为6-10个；

所述释放孔直径大小为6-10μm，每排或每纵任意相邻的两个释放孔之间间距为10-20μm。

3.根据权利要求1所述的一种带有弹性梁触点的射频MEMS开关，其特征在于，任意所述弹性梁一端固定在衬底上，另一端上面设置所述触点。

4.根据权利要求3所述的一种带有弹性梁触点的射频MEMS开关，其特征在于，所述弹性梁结构包括左弹性梁、及右弹性梁，所述左弹性梁、及右弹性梁并排设置在所述上电极的下方，并在朝向所述上电极的一端，固定设置所述触点；

所述弹性梁的个数包含两个但不仅限于两个，每个弹性梁上都设有触点。

5.根据权利要求4所述的一种带有弹性梁触点的射频MEMS开关，其特征在于，所述触点的形状包括但不限于长方体、半球体、或圆锥体。

6.根据权利要求1所述的一种带有弹性梁触点的射频MEMS开关，其特征在于，所述上电极和下电极的一侧设置有空气桥；

所述空气桥两端分别连接有地线。

7.根据权利要求1所述的一种带有弹性梁触点的射频MEMS开关，其特征在于，所述衬底的材料包括但不仅限于玻璃、陶瓷和高阻硅。

8.根据权利要求1所述的一种带有弹性梁触点的射频MEMS开关，其特征在于，所述信号线接近所述驱动电极一端平齐延伸出所述下电极，所述下电极朝向所述上电极一端固定设置所述弹性梁结构。

9.根据权利要求6所述的一种带有弹性梁触点的射频MEMS开关，其特征在于，所述信号线、地线为长条形状，并所述地线数量为两条，两条所述地线等距分别设置在所述信号线的两侧。

10.根据权利要求6所述的一种带有弹性梁触点的射频MEMS开关，其特征在于，所述地线与所述驱动电极距离最短的位置处设置所述空气桥。