[实用新型]一种全集成压电驱动装置

权利要求书

1.一种全集成压电驱动装置，包括PZT驱动层和SOI支撑平台，所述PZT驱动层包括底电极，所述底电极与所述SOI支撑平台连接；所述底电极通过金-铟共晶键合形成。

2.根据权利要求1所述的全集成压电驱动装置，其特征在于，所述底电极具有焊盘结构。

3.根据权利要求1所述的全集成压电驱动装置，其特征在于，所述SOI支撑平台包括SOI片层、设置在所述SOI片层上的锁定电极和设置在所述锁定电极上的电绝缘层，其中，所述电绝缘层与所述底电极连接。

4.根据权利要求3所述的全集成压电驱动装置，其特征在于，所述SOI片层包括衬底硅、设置在所述衬底硅上的埋层二氧化硅和设置在所述埋层二氧化硅上的支撑结构，其中，所述支撑结构与所述锁定电极连接。

5.根据权利要求3所述的全集成压电驱动装置，其特征在于，所述电绝缘层具有焊盘结构。

6.根据权利要求1所述的全集成压电驱动装置，其特征在于，所述PZT驱动层还包括设置在所述底电极上的PZT层和设置在所述PZT层上的顶电极。

7.根据权利要求6所述的全集成压电驱动装置，其特征在于，所述PZT层具有焊盘结构。

8.根据权利要求1或6所述的全集成压电驱动装置，其特征在于，所述PZT驱动层具有微结构，所述微结构包括悬臂梁结构和质量块结构。