[实用新型]一种洁净室节能工程系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及洁净室领域，特别涉及一种洁净室节能工程系统。

背景技术

洁净室(Clean Room)，亦称无尘车间、无尘室或清净室。洁净室是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计的房间。亦即是不论外在的空气条件如何变化，其室内均能维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能。洁净室最主要的作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触空气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好的环境中生产、制造。因而目前在电子行业得到了广泛应用。

现有的洁净室主要包括洁净空间、新风输送系统和排气系统；洁净室通过新风输送系统将洁净的空气送入洁净空间，对洁净空间内的空气进行“稀释”，把原来含尘浓度高的室内空气冲淡使其含尘浓度下降，排气系统将“稀释”后的空气排放到室外，降低室内的含尘浓度，使室内的洁净度达到要求。因此对于洁净室内的洁净度要求越高，所需输入的新风越多。

然而洁净室一般还要求有适宜的温度，在大量输入新风时除了要对输入的空气进行过滤净化外，还需进行加热或者降温，需要消耗大量能源；且洁净室中各区域所需的洁净度不同，采用统一的洁净度会造成不必要的浪费。

实用新型内容

为解决上述现有技术中存在的不足，本实用新型提供一种洁净室节能工程系统，所述洁净室节能工程系统包括第一洁净室，第二洁净室，静压风箱，过滤机组，新风输送管道，第一排风通道，第二排风通道以及第三排风通道；

所述过滤机组设于所述静压风箱与所述新风输送管道之间；所述新风输送管道连接所述第一洁净室和所述第二洁净室；所述第一洁净室通过所述第一排风通道与所述第二洁净室相连接；所述第二洁净室通过所述第二排风通道与所述静压风箱相连接；所述第二洁净室通过所述第三排风通道与室外相连接。

进一步地，所述第一排风通道中设有离心风机和过滤网。

进一步地，所述新风输送管道包括主管道，第一支管以及第二支管，所述第一支管以及第二支管上分别设有第一调节阀和第二调节阀。

进一步地，所述第二排风通道和第三排风通道中设有负压风扇。

本实用新型提供的洁净室节能工程系统，通过设置洁净度要求不同的第一洁净室和第二洁净室，在第一洁净室和第二洁净室之间设置第一排风通道，将从第一洁净室中排出的空气与新风输送管道中的洁净新风混合后送入第二洁净室，在保证第二洁净室中的空气洁净度符合要求的同时减少第二洁净室中需要输入的洁净新风的量，降低过滤空气时产生的能源消耗；在第二洁净室通过第二排风通道与静压风箱相连，从第二洁净室中排出的空气与外界输入的空气在静压风箱中混合，混合后的空气的温度接近洁净室需要的温度，从而减少对空气进行加热或降温时产生的能源消耗。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一些简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型提供的净化室节能过程系统的结构示意图。

附图标记：

10第一洁净室20第二洁净室30静压风箱

40过滤机组51主管道52第一支管

53第二支管54第一调节阀55第二调节阀

61第一排风通道62第二排风通道63第三排风通道

611离心风机 612过滤网

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。