[实用新型]线切割设备及其导轮

说明书

技术领域

本实用新型涉及硅片切割领域，特别是涉及一种线切割设备及其导轮。

背景技术

金刚线切割出片率和片厚主要以金刚线直径和导轮槽距的匹配所决定，同种金刚线线径在不同槽距下切割不同厚度的硅片。

金刚线切割硅棒时，硅片厚度＝导轮槽距-金刚线直径，导轮上开槽参数是导轮槽距。硅片的出片率＝硅棒长度/导轮槽距。传统技术金刚线切割存在的问题是：金刚线切割在硅棒的长度范围内，保证硅片厚度的条件下，出片率是局限性。此外，切割过程中，金刚线跳线也是常见的问题。

实用新型内容

基于此，有必要针对金刚线切割在晶棒长度范围内，保证硅片厚度的条件下出片率存在局限性，及金刚线跳线的问题，提供一种线切割设备。还提供一种线切割设备的导轮。

一种线切割设备，包括放线轮、导轮、设置在导轮上的切割线网、收线轮，导轮沿长度方向开设有若干导轮槽，自导轮的一端沿所述长度方向，所述若干导轮槽的导轮槽距均匀减小，且所述若干导轮槽的槽度也均匀减小，其中最大的导轮槽距设置在导轮的进线端。

导轮槽距沿导轮自进线端沿长度方向逐渐减小，适应切割线磨损后直径变小的变化趋势，在导轮长度不变的情况下，增加了导轮槽的数量，提升线网密度，从而提升了切片数量；同时导轮槽槽度也逐渐减小，以适应切割线磨损后直径变小的变化趋势，降低跳线几率，也进一步增加了导轮槽的数量，提升切片数量。

在其中一个实施例中，第一个导轮槽距为280微米，最后一个导轮槽距a为277微米。

在其中一个实施例中，所述导轮槽为V形槽，所述V形槽的最大宽度不超过15微米。

在其中一个实施例中，还包括减振装置，所述减振装置包括弹性滚筒，所述弹性滚筒与切割线网相抵接。

在其中一个实施例中，所述减振装置还包括支撑轴，所述弹性滚筒可转动地安装在所述支撑轴上。

在其中一个实施例中，所述切割线网为金刚线线网。

还提出了一种线切割设备的导轮，沿长度方向开设有若干导轮槽，自导轮的一端沿所述长度方向，所述若干导轮槽的导轮槽距均匀减小，且所述若干导轮槽的槽度也均匀减小。

上述导轮应用于线切割设备时，适应切割线磨损后直径变小的变化趋势，增加了导轮槽的数量，提升线网密度，从而提升了切片数量，同时还降低了跳线几率。

在其中一个实施例中，第一个导轮槽距为280微米，最后一个导轮槽距a为277微米。

在其中一个实施例中，所述导轮槽为V形槽，所述V形槽的最大宽度不超过15微米。

在其中一个实施例中，槽宽大于8～12微米的导轮槽的部分的深度在10～15微米。

附图说明

图1为本实用新型一个实施例的线切割设备的示意图；

图2为导轮上导轮槽的示意图。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的较佳的实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容的理解更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。相反，当元件被称作“直接在”另一元件“上”时，则不存在中间元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

下面结合附图，详细说明线切割设备及其使用的导轮的较佳实施方式。

请参考图1，本申请的一个实施例，提供了一种线切割设备，包括放线轮10、导轮20、设置在导轮20上的切割线网30、收线轮40。放线轮10上缠绕有新切割线，用以向导轮20输送新切割线。收线轮40则用以回收切割后的旧线。切割线网30的切割线优选采用金刚线。