[实用新型]一种真空烧结炉

权利要求书

1.一种真空烧结炉，其特征在于包括：烧结炉、分离罐、增压泵、旋片泵、罗茨泵、第一滑阀泵和第二滑阀泵，所述分离罐安装在烧结炉的一侧，所述分离罐的抽风口与烧结炉的抽真空口之间通过管道连接，增压泵的抽风口通过管道与分离罐的出风口连接，旋片泵的抽风口通过一个二通管分别与增压泵的出风口和分离罐的出风口连接，罗茨泵的抽风口通过管道与分离罐的出风口连接，第一滑阀泵的抽风口与罗茨泵的出风口之间通过管道连接，第二滑阀泵的抽风口直接与分离罐的出风口连接，所述增压泵与分离罐连接的管道上安装有主阀，所述罗茨泵与分离罐连接的管道上设置有粗抽阀，所述粗抽阀与主阀并联设置，旋片泵与分离罐连接的管道上设置有前级阀，所述前级阀与粗抽阀串联设置且位于粗抽阀的后方，第一滑阀泵与罗茨泵之间连接的管道上设置有第一挡板阀，第二滑阀泵与分离罐连接的管道上设置有第二挡板阀，所述第二挡板阀与粗抽阀串联设置且位于粗抽阀的后方。

2.如权利要求1所述的真空烧结炉，其特征在于：所述烧结炉的一侧还设置有鼓风机，所述鼓风机的鼓风口与烧结炉的进风口连接。

3.如权利要求1所述的真空烧结炉，其特征在于：所述分离罐的出风口端口上还设置有真空表和流量表。

4.如权利要求1所述的真空烧结炉，其特征在于：所述第一滑阀泵的抽风口处设置有第一排气阀。

5.如权利要求1或4所述的真空烧结炉，其特征在于：所述第二滑阀泵的抽风口处设置有第二排气阀。

6.如权利要求1所述的真空烧结炉，其特征在于：所述增压泵与分离罐连接的管道上还安装有减震器。