[实用新型]振膜及麦克风

权利要求书

1.一种振膜，其特征在于，包括：

主振动部、多个弧形附振动部、多个弧形悬空开口以及连接部；

所述弧形附振动部设置在所述主振动部和所述连接部之间，所述弧形悬空开口设置在所述弧形附振动部与所述主振动部之间，所述弧形悬空开口与所述弧形附振动部一一对应设置，所述弧形悬空开口包裹所述弧形附振动部的弧形边缘；

所述连接部包括外边缘和内边缘，所述外边缘为所述振膜的边缘，所述弧形悬空开口的两个端点延伸到所述内边缘上；

所述振膜为中心对称图形，任意相邻两个所述弧形悬空开口的两个端点连线的中点与所述振膜的对称中心之间的连线的夹角相同。

2.根据权利要求1所述的振膜，其特征在于，

所述振膜为圆形，所述连接部为与所述振膜同心的圆环。

3.根据权利要求1所述的振膜，其特征在于，所述弧形附振动部的数目为N个，所述夹角为N为大于或等于2，小于或等于8的整数。

4.根据权利要求1所述的振膜，其特征在于，

所述振膜为正多边形，且每条边上分布相等数量的所述弧形附振动部。

5.根据权利要求1所述的振膜，其特征在于，

所述悬空开口包括两条弧度相同的平滑弧线，以及所述两条弧度相同的平滑弧线之间的间隙；

弧长较小的所述平滑弧线与对应的所述弧形附振动部的弧形边缘重合。

6.根据权利要求5所述的振膜，其特征在于，

所述间隙的宽度范围为大于或等于0.5微米，小于或等于2微米。

7.根据权利要求5所述的振膜，其特征在于，

所述平滑弧线为正圆的一部分或者椭圆的一部分。

8.根据权利要求7所述的振膜，其特征在于，

所述平滑弧线为半圆、优弧或者劣弧中的任意一种。

9.一种麦克风，其特征在于，包括：

包括麦克风芯片、ASIC电路芯片、基座和金属保护壳；

所述麦克风芯片和所述ASIC电路芯片固定在所述基座上，所述麦克风芯片和所述ASIC电路芯片之间电连接；

所述麦克风芯片包括如上述权利要求1-8中任意一项所述的振膜。

10.根据权利要求9所述的麦克风，其特征在于，

所述麦克风芯片包括半导体基片；

形成在所述半导体基片上的第一绝缘层；

形成在所述第一绝缘层上的振膜；

形成在所述振膜上的带有过孔的第二绝缘层，形成在所述过孔内的第一金属电极，所述第一金属电极的第一表面与所述振膜直接接触，所述第一金属电极的第二表面低于所述第二绝缘层的表面；

形成在所述第二绝缘层上的背极板；

形成在所述背极板上的第二金属电极。