[实用新型]一种双铱丝灯丝直丝震荡型离子源

权利要求书

1.一种双铱丝灯丝直丝震荡型离子源，其特征在于，包括底座和离子源反射筒，底座与离子源反射筒之间通过支撑件连接，其中：底座的外侧设置有接线端，底座内侧设置有空心安装台，空心安装台内设置有托片连杆和引线，引线的一端连接底座接线端，引线的另一端位于离子源反射筒内部且设置有直丝灯丝；托片连杆的一端固定在空心安装台内，托片连杆的另一端位于离子源反射筒内且沿水平方向设置有托片，托片上安装有螺旋栅筒。

2.根据权利要求1所述的双铱丝灯丝直丝震荡型离子源，其特征在于：所述空心安装台的周边设置有密封圈槽。

3.根据权利要求2所述的双铱丝灯丝直丝震荡型离子源，其特征在于：所述直丝灯丝采用铱丝外镀氧化钇的材料。

4.根据权利要求3所述的双铱丝灯丝直丝震荡型离子源，其特征在于：所述直丝灯丝的直径为1-1.5mm。

5.根据权利要求4所述的双铱丝灯丝直丝震荡型离子源，其特征在于：所述直丝灯丝与中间螺旋栅筒的间距离为2.5-3.5mm。

6.根据权利要求5所述的双铱丝灯丝直丝震荡型离子源，其特征在于：所述离子源反射筒与螺旋栅筒的间距为1-3mm。