[实用新型]一种带真空封装的材料热稳定性测试设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及测试技术领域，具体涉及一种带真空封装的材料热稳定性测试设备。

背景技术

在半导体或显示器件领域使用的有机材料需要在真空高温的环境下能够保证热稳定性。为了测试这些材料的热稳定性，就要在特定温度、真空度、加热时间等条件下对材料进行热稳定性测试实验。

但目前对该有机材料进行热稳定性测试的过程，是通过真空封装设备对该有机材料进行封装后，再由真空加热测试设备进行加热测试。该真空加热测试设备和真空封装设备是各自独立的，具体测试过程中，需要分别购买和使用这两台设备，增加了设备成本、场地成本。

实用新型内容

鉴于上述的分析，本实用新型提供了一种带真空封装的材料热稳定性测试设备，用以解决现有技术中设备成本高以及场地成本高的问题。

本实用新型的目的主要是通过以下技术方案实现的：

本实用新型提供一种带真空封装的材料热稳定性测试设备，包括：

真空封装系统；

真空加热系统；

抽真空系统，通过第一真空管路与所述真空封装系统连接，通过第二真空管路与所述真空加热系统连接；

真空系统阀组，包括设置在所述第一真空管路上的第一阀和设置在所述第二真空管路上的第二阀。

作为一种优选方案，所述真空加热系统包括真空腔室和至少一个加热炉，所述至少一个加热炉设置在所述真空腔室内。

作为一种优选方案，所述加热炉设置为多个。

作为一种优选方案，所述加热炉为中空的环形结构，包括内层的加热层和外层的隔热层。

作为一种优选方案，所述加热炉还包括设于所述隔热层外层的隔热套，所述隔热套为中空结构，内部通冷却介质。

作为一种优选方案，所述抽真空系统包括机械泵和分子泵，分子泵的入口连接至第一真空管路和第二真空管路交汇处的管口，分子泵的出口连接至机械泵的入口。

作为一种优选方案，所述真空系统阀组还包括封装真空管路旁通管口，位于第一阀与真空封装系统之间的真空管路上，连接至机械泵的入口，用于在加热封装前对待封装的玻璃试管进行预抽。

作为一种优选方案，所述封装真空管路旁通管口上设有调节阀，用于对待封装的玻璃试管进行预抽时，调节抽真空气体流量。

作为一种优选方案，所述真空系统阀组还包括第一放气阀和第二放气阀，分别位于所述第一真空管路和所述第二真空管路上，用于当待封装的玻璃试管封装完毕以及加热测试完毕时，平衡真空封装系统的内外部压力以及真空腔室的内外部压力。

作为一种优选方案，所述真空封装系统包括封离炉，用于对待封装的玻璃试管进行抽真空封装。

作为一种优选方案，本实用新型所述带真空封装的材料热稳定性测试设备，还包括操作屏幕，用于对所述机械泵和分子泵的启停、部分阀门的开关以及加热炉的加热等操作进行自动化控制，对封装完毕的玻璃试管的温度、时间和真空度等参数进行设定和存储，对所述温度、时间和真空度等参数以及各参数的变化曲线进行显示，操作方便、可靠、准确，降低了劳动强度。具体地，所述部分阀门包括第一阀、第二阀、第一放气阀和第二放气阀。

作为一种优选方案，所述第一阀与第一放气阀之间、所述第二阀和第二放气阀之间均为互锁关系，可避免机械泵和分子泵因空载而损坏，使得设备运行安全、可靠。

本实用新型的技术方案，具有如下优点：

本实用新型提供的一种带真空封装的材料热稳定性测试设备，包括：真空封装系统；真空加热系统；抽真空系统，通过第一真空管路与所述真空封装系统连接，通过第二真空管路与所述真空加热系统连接；真空系统阀组，包括设置在所述第一真空管路上的第一阀和设置在所述第二真空管路上的第二阀。真空封装系统和真空加热系统共用一套抽真空系统，使得设备结构简单有效，操作便捷，相对于现有技术中，进行材料热稳定性测试时，需要购买和使用真空加热测试设备和真空封装设备两台设备，节约了人力和时间成本，降低了设备成本和场地成本。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例的带真空封装的材料热稳定性测试设备的一个具体示例的组成框图；