[实用新型]一种自带循环系统的集成水槽有效
申请号: | 201720861947.0 | 申请日: | 2017-07-17 |
公开(公告)号: | CN206976382U | 公开(公告)日: | 2018-02-06 |
发明(设计)人: | 邵玉林 | 申请(专利权)人: | 无锡琨圣科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/67 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)11350 | 代理人: | 汤东凤 |
地址: | 214000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 循环系统 集成 水槽 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种集成水槽,特别是涉及一种自带循环系统的集成水槽。
背景技术
制绒清洗机主要用于太阳能电池生产线上的硅片扩散前硅片表面的油类分子、金属杂质、机械损伤层的去除及金字塔绒面制作,是一条集清洗、腐蚀、干燥为一体的全自动综合清洗工艺线。在生产过程中需将其放置在酸性水槽、碱性水槽中进行浸泡,由于水槽内添加有酸性(碱性)物质,在长期工作后溶液的浓度会大大降低,影响硅片的处理效果及生产质量,因此本实用新型设计一种自带循环系统的集成水槽,在循环的过程中还能向装置内部添加高浓度的溶液,以解决现有技术中存在的问题,经检索,未发现与本实用新型相同或相似的技术方案。
实用新型内容
为了克服上述现有技术的不足,本实用新型提供了一种自带循环系统的集成水槽,以解决现有技术中硅片制备质量差的问题。
为达到上述目的,本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:
一种自带循环系统的集成水槽,包括槽体、设置在槽体两侧的加料装置和循环装置;所述槽体内部具有一呈倒置L型的隔板,所述隔板沿竖直方向设置的一端与槽体侧壁之间形成一溢流槽,隔板下端中部具有一挡板,所述挡板将隔板下端分为高浓度溶液腔及低浓度溶液腔;所述高浓度溶液腔中具有一搅拌桨,所述低浓度溶液腔与溢流槽相连通,下端设置有加热板;所述加料装置包括与高浓度溶液腔下端连接的抽液泵A及与抽液泵A连接的抽液管A,所述抽液管A从槽体侧壁上端延伸至槽体内部;所述循环装置包括与低浓度溶液腔连接的抽液泵B、与抽液泵B连接的抽液管B、贴合隔板内壁设置的排液装置;所述抽液管B从槽体侧壁上端延伸至隔板上端;所述排液装置包括主管及与主管下端连接的若干支管,所述支管均布设置在隔板下端。
进一步的,所述溢流槽上端具有一水平设置的滤网。
进一步的,所述支管主要包括长度较长的管体A及长度较短的管体B,所述管体A的长度为管体B长度的两倍。
进一步的,所述主管下端均布设置若干与支管相连通的出液口,若干所述出液口端面形成一内凹圆弧形结构。
由于上述技术方案的运用,本实用新型与现有技术相比具有下列有益效果:
(1)本实用新型设置有高浓度溶液腔和低浓度溶液腔,其中高浓度溶液腔用于向浓度逐渐降低的槽体内添加高浓度液体,使溶液混合以达到正常工作溶液浓度;低浓度溶液腔用于实现液体的循环,并在循环过程中对溶液进行升温操作,保证工作的高效性;
(2)溢流槽上端具有一水平设置的滤网,用于对槽体内的液体进行过滤,保证液体的清洁性;
(3)支管主要包括长度较长的管体A及长度较短的管体B,管体A的长度为管体B长度的两倍,防止液体从固定位置流入引起混合不均匀的问题,造成溶液局部温度过高及局部温度过低,影响产品的加工质量,通过设置不同长度的管体A和管体B,保证结构设计的合理性;
(4)主管下端均布设置若干与支管相连通的出液口,若干出液口端面形成一内凹圆弧形结构,尽量保证液体能够均等的从各个出液口流出,进一步保证结构设计的合理性。
附图说明
图1是本实用新型所述结构的示意图。
图2是本实用新型所述排液装置的主视图。
图3是本实用新型所述排液装置的俯视图。
图中1、槽体,2、隔板,3、溢流槽,4、滤网,5、挡板,6、高浓度溶液腔,7、搅拌桨,8、低浓度溶液腔,9、加热板,10、抽液泵A,11、抽液管A,12、抽液泵B,13、抽液管B,14、主管,15、支管,16、出液口,17、管体A,18、管体B。
具体实施方式
下面结合具体实施例,对本实用新型的内容做进一步的详细说明:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的