[实用新型]一种真空吸附晶圆的装置有效
| 申请号： | 201720861580.2 | 申请日： | 2017-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN206901306U | 公开（公告）日： | 2018-01-19 |
| 发明（设计）人： | 彭逆舟 | 申请（专利权）人： | 成都海威华芯科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/91 | 分类号： | B65G47/91 |
| 代理公司： | 成都华风专利事务所(普通合伙)51223 | 代理人： | 徐丰 |
| 地址： | 610029 四川省成都市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 吸附 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空吸附晶圆的装置，包括空压机、晶圆托盘，其特征在于：还包括真空泵、气动控制阀，所述气动控制阀包括厂务真空接入端、气动执行机构端、晶圆吸附端，所述厂务真空接入端通过第一真空软管与所述真空泵连通，所述气动执行机构端通过第二真空软管与所述空压机的出气口连通，所述空压机的压缩空气作为气动执行机构的动力以驱动所述气动控制阀的阀体运动，所述晶圆吸附端通过第三真空软管与所述晶圆托盘连通。
2.根据权利要求1所述的一种真空吸附晶圆的装置，其特征在于：所述空压机产生的压缩空气的气压大于5.0Bar。
3.根据权利要求1所述的一种真空吸附晶圆的装置，其特征在于：所述真空泵产生的厂务真空的气压小于-0.8Bar。
4.根据权利要求1所述的一种真空吸附晶圆的装置，其特征在于：所述气动控制阀的型号为F-AVP125-1W。
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