[实用新型]密封装置和电极引出端组件

说明书

技术领域

本实用新型涉及镀膜设备领域，具体涉及一种密封装置和电极引出端组件。

背景技术

真空波纹管由于具备真空密封性能以及基于波纹结构折叠的弯曲性能，被广泛的应用于真空设备中。例如，在PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，等离子体增强化学的气相沉积)、PVD(Physical Vapor Deposition，物理气相沉积)等真空镀膜设备的加热腔体中，部分组件(如加热平台接线端组件、电极引出端组件)需要与外部电源或信号源进行连接。然而，以电极引出端组件为例(如图1所示)，由于备件的运输会导致电极引出端因受压而产生局部的弯曲变形，受制于电极引出端本身的柔性性能、加热平台电极引出端的焊接精度等因素，设备设计人员一般会使用真空波纹管来实现电极引出端的上述较小弯曲以及与大气的隔离。

然而，当设备损坏时需要对真空波纹管进行拆卸并更换。但在更换过程中，真空波纹管的波纹结构部分容易因为受扭转或弯曲产生的剪切力而造成损坏破裂，形成漏点(如图1中的A所示)。由于真空波纹管属于非耗型特制配件，当真空波纹管破损后且真空设备仍在运行时，大气就会通过波纹结构上的漏点进入真空设备的设备腔体，由此造成反应气体掺杂，破坏了真空设备所制备产品的性能。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型实施例提供了一种密封装置和电极引出端组件，解决了现有真空设备中的真空波纹管破损后会导致大气通过真空波纹管上的漏点进入设备腔体的问题。

本实用新型一实施例提供的一种密封装置适用于密封一种真空波纹管，所述密封装置包括：

密封套管，套接在所述真空波纹管的波纹结构外侧；

第一套环，密封地套接在所述密封套管的第一端外侧；以及

第二套环，密封地套接在所述密封套管的第二端外侧。

其中，所述装置进一步包括：

第一密封圈，设置在所述第一套环与所述密封套管的第一端之间的间隙处；和/或，

第二密封圈，设置在所述第二套环与所述密封套管的第二端之间的间隙处。

其中，所述第一套环包括第一环形挡肩，所述第一环形挡肩的侧面套接在所述密封套管的第一端外侧，所述第一密封圈设置在所述第一环形挡肩的底面与所述密封套管的第一端的端口面之间的间隙处；和/或，

所述第二套环包括第二环形挡肩，所述第二环形挡肩的侧面套接在所述密封套管的第二端外侧，所述第二密封圈设置在所述第二环形挡肩的底面与所述密封套管的第二端的端口面之间的间隙处。

其中，所述装置进一步包括：

第一楔形垫圈，设置在所述第一密封圈与所述第一环形挡肩的底面之间的间隙处；和/或，

第二楔形垫圈，设置在所述第二密封圈与所述第二环形挡肩的底面之间的间隙处。

其中，所述第一楔形垫圈和/或所述第二楔形垫圈采用金属材料制成。

其中，所述真空波纹管中设置有电极；

其中，所述第一套环通过螺纹配合的方式套接在所述密封套管的第一端外侧；和/或，

所述第二套环通过螺纹配合的方式套接在所述密封套管的第二端外侧。

其中，所述密封套管、所述第一套环、以及所述第二套环的横截面呈六角形。

其中，所述密封套管采用金属材料制成。

本实用新型一实施例提供的一种电极引出端组件包括：

真空波纹管，包括波纹结构；

如前任一所述的密封装置，所述密封装置包括：

密封套管，套接在所述真空波纹管的波纹结构外侧；

第一套环，密封地套接在所述密封套管的第一端外侧；

第二套环，密封地套接在所述密封套管的第二端外侧；以及

延伸穿过所述真空波纹管的电极。

在一个实施例中，第一套环通过锁紧螺钉与所述真空波纹管的露出所述密封套管的所述第一端的一端相固定；和/或，第二套环通过锁紧螺钉与所述真空波纹管中的所述电极露出所述密封套管的所述第二端的一端相固定。