[实用新型]一种真空泵及其循环冷却系统

权利要求书

1.一种真空泵循环冷却系统，其特征在于，包括气体循环系统和水循环系统；所述气体循环系统包括设置在泵体（1）的外壁内侧的循环管（8），所述循环管（8）通过回流管（7）与真空泵的排风管（4）连通，所述循环管（8）上设有与所述泵体（1）连通的通孔（10），所述回流管（7）的上游位设有水冷器（5）和气液分离器（6）；所述水循环系统包括水箱（14）和水循环管（11），所述水循环管（11）分布在所述泵体（1）的外壁的外侧，所述水循环管（11）通过进水管（13）和出水管（12）与所述水箱（14）连通，所述进水管（13）的进水口设有水泵。

2.如权利要求1所述的真空泵循环冷却系统，其特征在于，在所述水箱（14）内，所述出水管（12）的出水口设有冷却器。

3.如权利要求1所述的真空泵循环冷却系统，其特征在于，所述回流管（7）上设有控制阀（9）。

4.如权利要求1至3任一项所述的真空泵循环冷却系统，其特征在于，所述循环管（8）和所述水循环管（11）都在所述泵体（1）的外壁上均匀分布。

5.一种真空泵，包括泵体和循环冷却系统，其特征在于，所述循环冷却系统为权利要求1至4任一项所述的循环冷却系统。