[实用新型]一种光学镜片镀膜机有效
申请号: | 201720852638.7 | 申请日: | 2017-07-14 |
公开(公告)号: | CN206956138U | 公开(公告)日: | 2018-02-02 |
发明(设计)人: | 毛治国 | 申请(专利权)人: | 辽宁中蓝电子科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/00 | 分类号: | C23C14/00 |
代理公司: | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙)21234 | 代理人: | 张志伟 |
地址: | 124010 *** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光学镜片 镀膜 | ||
技术领域
本实用新型涉及镀膜设备,尤其涉及一种光学镜片镀膜机。
背景技术
随着科技的发展,时代的进步,先进的光学技术不仅仅应用于军事装备领域,也开始普及于民生发展。特别是近几年来,随着手机照相技术的发展,光学电子产品更是向轻量化和薄型化发展,相应的镜头模组也变得越来越小,精密度的要求也越来越高。镜片表面的改性技术越来越重要,其决定着产品的关键品质。
实用新型内容
本实用新型提供一种光学镜片镀膜机,采用电脑控制实现全自动化作业,有效降低了人力成本。
本实用新型提供一种光学镜片镀膜机,包括真空腔、分别与真空腔相连接的抽真空机构和水汽捕集机构;所述真空腔的内部设有镀膜伞、用于检测膜层厚度的镀膜监控机构、加热机构、膜厚修正机构以及镀膜机构,所述镀膜伞设置于真空腔的顶部,加热机构设置于镀膜伞的上方,镀膜机构设置于真空腔的底部,膜厚修正机构设置于镀膜伞和镀膜机构之间,所述镀膜伞在电机带动下可旋转运动。
在本实用新型的光学镜片镀膜机中,所述镀膜伞包括球面形的伞架和多个设置于所述伞架的内表面上的镜片槽。
在本实用新型的光学镜片镀膜机中,所述伞架中心设有通孔,所述镀膜监控机构穿设于所述通孔内。
在本实用新型的光学镜片镀膜机中,所述镀膜机构包括离子源和电子枪。
在本实用新型的光学镜片镀膜机中,所述抽真空机构包括通过真空管路依次连接机械泵、罗茨泵以及油扩散泵,油扩散泵与真空腔相连接,所述真空管路用橡胶圈密封。
在本实用新型的光学镜片镀膜机中,所述油扩散泵安装有水冷系统和冷阱。
在本实用新型的光学镜片镀膜机中,所述镀膜机还设有对抽真空机构、水汽捕集机构、镀膜监控机构、加热机构以及镀膜机构进行控制的控制柜。
在本实用新型的光学镜片镀膜机中,所述控制柜设有触摸屏。
在本实用新型的光学镜片镀膜机中,在所述真空腔上设有观察窗。
本实用新型的一种光学镜片镀膜机采用电脑控制实现全自动化作业,可有效降低了人力成本,保证了产品的一致性,减少错误发生。该镀膜机可以应用在光学玻璃镜片、光学塑胶镜片、半导体、金属、陶瓷等为基板的介质表面改性技术。利用本实用新型的镀膜机蒸着的膜层,光学透过率高,外观良率好,有效防止膜层的龟裂。该镀膜机在实际量产过程中,产量大,产品质量可靠,膜层的附着性好,特别是在针对光学塑胶产品应用领域,有绝对优势。
附图说明
图1是本实用新型的光学镜片镀膜机的俯视图;
图2是本实用新型的光学镜片镀膜机的真空腔内部的剖面图;
图3是本实用新型的光学镜片镀膜机的镀膜伞的示意图。
具体实施方式
下面结合图1至图3对本实用新型的光学镜片镀膜机进行说明。如图1所示,本实用新型的光学镜片镀膜机包括真空腔10、抽真空机构以及水汽捕集机构20。抽真空机构和水汽捕集机构20分别与真空腔10相连接。
如图2所示真空腔10的内部设有镀膜伞1、用于检测膜层厚度的镀膜监控机构2、加热机构3、膜厚修正机构4以及镀膜机构。镀膜伞1设置于真空腔10的顶部,加热机构3设置于镀膜伞1的上方,镀膜机构设置于真空腔10的底部,膜厚修正机构4设置于镀膜伞1和镀膜机构之间。镀膜伞1在电机7带动下可旋转运动。镀膜伞1包括球面形的伞架11和多个设置于伞架11的内表面上的镜片槽12。在伞架11中心设有通孔13,镀膜监控机构2穿设于通孔13内。镀膜机构包括离子源5和电子枪6。真空腔1上设有观察窗。
抽真空机构包括通过真空管路依次连接机械泵41、罗茨泵42以及油扩散泵43,油扩散泵43与真空腔1相连接,真空管路用橡胶圈密封。油扩散泵43安装有水冷系统和冷阱,可杜绝油分子对真空腔10的污染,保证真空腔的洁净。
镀膜机还设有对抽真空机构、水汽捕集机构20、镀膜监控机构2、加热机构3以及镀膜机构进行控制的控制柜30。在控制柜30上设有触摸屏。
下面对本实用新型的镀膜机的镀膜过程进行说明:
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