[实用新型]一种芯片涂膜装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及芯片加工技术领域，尤其涉及一种芯片涂膜装置。

背景技术

随着时代的发展，科学技术的提高，出现了许多高科技产物，芯片就是其中一种，芯片指内含集成电路的硅片，体积很小，常常是计算机或其他电子设备的一部分，且芯片是半导体元件产品的统称，是集成电路的载体，芯片在生产工艺流程中，其表面必须要涂一层防氧化膜，这些防氧化膜往往都是某种防氧化液体涂抹到芯片表面，然后风干形成的，然而目前的芯片生产技术中，涂膜往往还得靠人工来进行，这样做不仅效率低，而且浪费人力，不利于企业的长足发展，所以需要一种自动化，涂膜效率高的涂膜装置来解决这一现状。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种芯片涂膜装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种芯片涂膜装置，包括设备箱和传送带，所述设备箱底部内壁两侧分别焊接有两根第一支撑杆和两根第二支撑杆，且两根第一支撑杆之间通过轴承连接有第一转杆，所述第一转杆外壁固定套接有第一滚筒，两根所述第二支撑杆之间通过轴承连接有第二转杆，且第二转杆外壁固定套接有第二滚筒，所述第一滚筒和第二滚筒之间通过传送带形成传动配合，所述设备箱的底部内壁通过螺钉分别固定有涂膜箱和烘干箱，且烘干箱位于涂膜箱和第二支撑杆之间，所述涂膜箱的底部内壁通过螺钉固定有水泵，且水泵的出水端套接有输液管，所述涂膜箱的顶部内壁焊接有两根拉杆，且两根拉杆的底部外壁焊接有储液罐，所述储液罐的顶部外壁开设有第一通孔，且输液管远离水泵的一端插接在第一通孔内，所述储液罐的底部外壁开设有第二通孔，且第二通孔内壁插接有涂膜头，所述涂膜头内壁通过螺钉连接有阀门，所述储液罐的底部外壁通过螺钉固定有红外传感器。

优选的，所述红外传感器通过信号线连接有控制器，且红外传感器的型号为SDP8476-201，控制器的型号为DATA-7311。

优选的，所述阀门为电控阀门，且阀门连接有开关，开关与控制器连接。

优选的，所述设备箱的一边内壁通过螺钉固定有电动机，且电动机的输出轴与第一转杆相焊接。

优选的，所述涂膜箱的一边外壁开设有进液口，且进液口内壁通过铰链连接有密封盖。

优选的，所述输液管的形状为L型，且输液管与水泵出水端的连接处设置有密封圈。

本实用新型的有益效果为：本实用新型中，红外传感器和传送带的设置，可以做到红外传感器自动感应芯片，从而打开阀门，使涂膜头向芯片滴上防氧化液，自动化程度高，烘干箱的设置，可以使防氧化液快速在芯片表面形成防氧化膜，整个装置实现了流水线化涂膜，生产效率高，节省了人力，有利于企业的长期发展。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种芯片涂膜装置的整体结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种芯片涂膜装置的传送带结构示意图。

图中：1烘干箱、2涂膜头、3储液罐、4阀门、5拉杆、6红外传感器、7涂膜箱、8设备箱、9传送带、10第一滚筒、11第一转杆、12第一支撑杆、13进液口、14输液管、15水泵。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-2，一种芯片涂膜装置，包括设备箱8和传送带9，设备箱8底部内壁两侧分别焊接有两根第一支撑杆12和两根第二支撑杆，且两根第一支撑杆12之间通过轴承连接有第一转杆11，第一转杆11外壁固定套接有第一滚筒10，两根第二支撑杆之间通过轴承连接有第二转杆，且第二转杆外壁固定套接有第二滚筒，第一滚筒10和第二滚筒之间通过传送带9形成传动配合，设备箱8的底部内壁通过螺钉分别固定有涂膜箱7和烘干箱1，且烘干箱1位于涂膜箱7和第二支撑杆之间，涂膜箱7的底部内壁通过螺钉固定有水泵15，且水泵15的出水端套接有输液管14，涂膜箱7的顶部内壁焊接有两根拉杆5，且两根拉杆5的底部外壁焊接有储液罐3，储液罐3的顶部外壁开设有第一通孔，且输液管14远离水泵15的一端插接在第一通孔内，储液罐3的底部外壁开设有第二通孔，且第二通孔内壁插接有涂膜头2，涂膜头2内壁通过螺钉连接有阀门4，储液罐3的底部外壁通过螺钉固定有红外传感器6。