[实用新型]一种传输腔的激光传感器安装装置有效
| 申请号： | 201720840328.3 | 申请日： | 2017-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN206907744U | 公开（公告）日： | 2018-01-19 |
| 发明（设计）人： | 车东晨;孙伟;胡冬冬;许开东 | 申请（专利权）人： | 江苏鲁汶仪器有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/66;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京得信知识产权代理有限公司11511 | 代理人： | 袁伟东,袁建水 |
| 地址： | 221300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 传输 激光 传感器 安装 装置 | ||
1.一种传输腔的激光传感器安装装置，其特征在于，
包括传感器固定板和底端连接支架，所述传感器固定板通过所述底端连接支架与传输腔的观察窗相连接，所述传感器固定板上加工有传感器位置调节槽，所述底端连接支架上加工有水平方向的传感器固定板位置调节槽。
2.根据权利要求1所述的传输腔的激光传感器安装装置，其特征在于，
所述传感器固定板包括底板和设置在所述底板上的立板，所述底板与所述底端连接支架连接，所述立板上加工有弧形滑槽作为所述传感器位置调节槽。
3.根据权利要求2所述的传输腔的激光传感器安装装置，其特征在于，
所述立板上设有传感器安装孔，其中一个传感器安装孔位于所述弧形滑槽的弧心处，另一个传感器安装孔位于所述弧形滑槽的弧线上。
4.根据权利要求2或3所述的传输腔的激光传感器安装装置，其特征在于，
所述弧形滑槽所对应的圆心角不大于90度。
5.根据权利要求2或3所述的传输腔的激光传感器安装装置，其特征在于，
所述传感器固定板的所述底板上加工有两个安装孔以配合螺钉或螺栓与所述底端连接支架连接，所述螺钉或螺栓穿过所述底板插入到所述底端连接支架的传感器固定板位置调节槽中。
6.根据权利要求2或3所述的传输腔的激光传感器安装装置，其特征在于，
所述底板和立板组成“L”型板片结构。
7.根据权利要求1、2或3所述的传输腔的激光传感器安装装置，其特征在于，
所述底端连接支架上纵向设置有长形滑槽作为水平方向的传感器固定板位置调节槽。
8.根据权利要求7所述的传输腔的激光传感器安装装置，其特征在于，
所述底端连接支架是长条板状结构，所述长条板状结构的两端加工有连接孔以与所述传输腔的观察窗连接，所述长条板状结构加工成圆弧面结构，以与所述传输腔的观察窗的周缘相配合。
9.根据权利要求2或3所述的传输腔的激光传感器安装装置，其特征在于，
所述传感器固定板的所述传感器位置调节槽的延伸方向所在的平面与所述底端连接支架的传感器固定板位置调节槽的延伸方向和深度方向所在的平面平行。
10.根据权利要求2或3所述的传输腔的激光传感器安装装置，其特征在于，
所述传感器固定板上所述传感器位置调节槽的延伸方向所在的平面与所述底端连接支架的传感器固定板位置调节槽的延伸方向和深度方向所在的平面形成一定角度的夹角。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
