[实用新型]一种大功率等离子喷枪

说明书

技术领域

本实用新型属于等离子喷涂技术领域，应用于靶材生产行业，具体地说是一种大功率等离子喷枪。

背景技术

等离子喷涂是目前生产大型旋转陶瓷靶材的主要方法，具有高效率、低成本的优点。目前lOW-E玻璃幕墙行业用的旋转硅铝靶材和旋转氧化钛靶材，以及显示行业用的纯硅靶材，全部用等离子喷涂方法生产。我国等离子喷涂设备的技术水平较低，等离子电源和喷枪的功率较小，用于喷涂靶材，与国外先进技术相比存在着上粉率低、密度低、生产效率低、电阻率高的缺点。从而导致国产设备生产的靶材质量差，成本高，无法与国外先进厂家进行竞争，无法有效扩大市场占有率，无法大幅提高利润率。

受制于没有国产大功率喷枪，导致等离子电源功率无法有效提高。因为一旦功率加大到喷枪的功率上限，喷枪的喷嘴和电极会在短时间内烧坏，导致喷枪失效，无法继续输出功率。所以说，等离子喷枪是制约我国等离子技术发展的瓶颈。

发明内容

本实用新型针对上述问题，提供一种大功率等离子喷枪，该喷枪结构巧妙，设计合理，维护简单，能够明显提高等离子喷涂靶材的上粉率，提高生产效率，大幅降低成本，同时能提高靶材的致密度，降低电阻率，提高了靶材质量。

按照本实用新型的技术方案：一种大功率等离子喷枪，其特征在于：包括喷枪壳体及固定于喷枪壳体内的电极支撑环、前支撑环、导向电极座，所述电极支撑环置于前支撑环与导向电极座之间，且导向电极座、电极支撑环及前支撑环相互连接后形成冷却水管路，导向电极座上对应于冷却水管路外端固定有水电缆负极接头；

前支撑环内部固定喷嘴，喷嘴表面与前支撑环之间形成冷却水空腔，冷却水空腔连通冷却水管路，前支撑环上的进水孔与电极支撑环上的电缆通路及导向电极座上的水电缆通道相互贯通连接，水电缆正极接头设置于所述进水孔、电缆通路及水电缆通道中；

导向电极座上安装电极，电极的发射端伸入电极支撑环内，电极与电极支撑环内壁密封设置，且电极发射端与电极支撑环同轴设置，电极发射端与电极支撑环之间形成工作气体输送腔，工作气体输送腔外端连接通气管接头；

电极发射端与电极支撑环及喷嘴同轴设置，喷嘴与电极发射端之间形成等离子发生腔。

作为本实用新型的进一步改进，所述前支撑环与喷枪壳体之间设置绝缘筒；所述喷枪壳体内壁设有沿轴向延伸的第一导向条，第一导向条依次穿入导向电极座表面的第四导向槽、电极支撑环表面的第三导向槽、绝缘筒表面的第一导向槽，前支撑环表面的第二导向槽卡入绝缘筒内部的第二导向条中。

作为本实用新型的进一步改进，所述导向电极座包括支撑部及固定于支撑部内孔中的安装座，支撑部上呈圆周状均布设置四个通孔，导向电极座的圆周表面设有沿径向延伸的紧固螺纹孔，导向电极座上还设有第二通水孔，第二通水孔的中心轴与紧固螺纹孔位于同一轴向截面上，第二通水孔的出口端部设置有密封环，密封环与第二通水孔同心，导向电极座的圆周表面设有关于中心对称的两个第四导向槽，所述安装座的封闭端设置有凸出的导向柱，导向电极座的开口端中心设置有凹下的第二螺纹孔，安装座的中心安装导向柱。

作为本实用新型的进一步改进，所述电极支撑环靠近边缘处贯通设有电缆通路、第一通水孔，电缆通路与第一通水孔轴向对称，第一通水孔的两端分别同轴设置一个第三密封槽，电极支撑环的圆周面上设置两个第三导向槽，两个第三导向槽的中心连线与第一通水孔和电缆通路的中心连线相互垂直，电极支撑环上设有沿轴向延伸的气管接口，整流环通过第二导流孔连通气管接口，第二导流孔处设置送整流环，整流环通过36个通气孔与导流环连通。

作为本实用新型的进一步改进，所述前支撑环后端面下方设置有进水孔，进水孔末端为第一螺纹孔，第一螺纹孔与第一导流孔相连通，前支撑环上还设置有出水孔，出水孔的外端面同轴设置有密封台；所述前支撑环的圆周上开设第二导向槽，两个第二导向槽的中心连线与出水孔、进水孔的中心连线相垂直；前支撑环的内孔设有第一台阶孔、上接口，喷嘴的轴向表面两端分别支撑于第一台阶孔和上接口中，出水孔、第一导流孔均连通前支撑环的内孔。

作为本实用新型的进一步改进，所述水电缆正极接头内端表面设置两个第四密封槽，第四密封槽中放置防水密封圈，水电缆正极接头内端表面设有内端螺纹，内端螺纹与前支撑环螺纹连接。