[实用新型]一种超快恢复二极管有效

专利信息
申请号: 201720838671.4 申请日: 2017-07-10
公开(公告)号: CN207602578U 公开(公告)日: 2018-07-10
发明(设计)人: 张淑云 申请(专利权)人: 天津天物金佰微电子有限公司
主分类号: H01L29/868 分类号: H01L29/868;H01L29/12;H01L29/06
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地址: 300380 天津市*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 镀银层 金层 扩磷层 扩硼层 超快恢复二极管 本实用新型 二极管 研磨片 单晶 雕刻 生产周期 生产效率 生产成本 背面
【说明书】:

本实用新型提供一种超快恢复二极管,包括扩磷层、单晶研磨片、扩硼层、金层、雕刻槽和镀银层,所述单晶研磨片的正面和背面分别与所述扩硼层和所述扩磷层相连,所述扩磷层通过所述金层与所述镀银层相连,所述扩硼层通过所述金层与所述镀银层相连,所述金层与所述镀银层相连界面上设置有所述雕刻槽。本实用新型的有益效果是有效提高二极管的生产成本和生产周期,大大提高了二极管的生产效率。

技术领域

本实用新型属于二极管结构设计技术领域,尤其是涉及一种超快恢复二极管。

背景技术

在现有的技术中,普通的二极管基底材料多采用外延片,外延片的价格较高,造成普通二极管的成本较高,而且普通的二极管在制造过程中工艺较为复杂,通常都需要设置一层PVCVD层,由于PVCVD的功能层制造较为复杂,造成二极管的生产周期较长,成本较高,因而大大限制了二极管的普及。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种超快恢复二极管,该二极管取消了PVCVD层的设计,降低了二极管的生产周期,同时基底采用单晶研磨片能够有效降低生产成本。

为达上述目的,本实用新型采用的技术方案是:一种超快恢复二极管,包括扩磷层、单晶研磨片、扩硼层、金层、雕刻槽和镀银层,其特征在于:所述单晶研磨片的正面和背面分别与所述扩硼层和所述扩磷层相连,所述扩磷层通过所述金层与所述镀银层相连,所述扩硼层通过所述金层与所述镀银层相连,所述金层与所述镀银层相连界面上设置有所述雕刻槽。

优选地,所述扩磷层和所述单晶研磨片表面均设置有若干无规则的连接槽。

优选地,所述单晶研磨片的厚度为250微米-300微米,电阻率为5Ω-10Ω。

优选地,所述扩磷层厚度为20微米-40微米。

优选地,所述扩硼层厚度为80微米-100微米。

优选地,所述金层厚度为50埃-100埃。

优选地,所述雕刻槽的深度为110微米。

本实用新型具有的优点和积极效果是:由于采用上述技术方案,是的该二极管采用单晶研磨片作为基底材料,大大降低了二极管的生产成本,而且该二极管避免了PVCVD层,大大提高了二极管的生产效率,而且通过雕刻操的设计能够有效提高层之间的稳定性。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图;

图中:1、扩磷层;2、单晶研磨片;3、扩硼层;4、金层;5、雕刻槽;6、镀银层。

具体实施方式

下面对照附图,通过对实施例的描述,对本实用新型的具体实施方式,如所涉及的各构件的形状、构造、各部分之间的相互位置及连接关系、各部分的作用及工作原理等作进一步的详细说明。

如图1所示,本实用新型提供一种超快恢复二极管,包括扩磷层1、单晶研磨片2、扩硼层3、金层4、雕刻槽5和镀银层6,单晶研磨片2的正面和背面分别与扩硼层3和扩磷层1相连,扩磷层1通过金层4与镀银层6相连,扩硼层3通过金层4与镀银层6相连,金层4与镀银层6相连界面上设置有雕刻槽5。

优选地,扩磷层1和单晶研磨片2表面均设置有若干无规则的连接槽。

优选地,单晶研磨片2的厚度为250微米-300微米,电阻率为5Ω-10Ω。

优选地,扩磷层1厚度为20微米-40微米。

优选地,扩硼层3厚度为80微米-100微米。

优选地,金层4厚度为50埃-100埃。

优选地,雕刻槽5的深度为110微米。

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