[实用新型]一种应用于高端曝光机的三轴实时对位装置

权利要求书

1.一种应用于高端曝光机的三轴实时对位装置，其特征在于，包括底板、用于提供X轴方向的滑轨的X轴模组、用于提供Y轴方向的滑轨的Y轴模组、推动气缸、旋转电机和机械手，所述Y轴模组沿Y方向固定在底板上，所述X轴模组沿X方向设置，且X轴模组的一端端部架设在Y轴模组上方，以使得X轴模组在Y轴模组上可沿Y方向移动，所述推动气缸设置在X轴模组的侧面并可在X轴模组上沿X方向移动，所述旋转电机固定在推动气缸下端并可在推动气缸的带动下实现Z方向的移动，所述机械手固定在旋转电机下端的旋转轴上，以使得机械手可实现XYZ方向的移动及θ方向的旋转。

2.按照权利要求1所述的应用于高端曝光机的三轴实时对位装置，其特征在于，所述Y轴模组上设有用于驱动X轴模组移动的第一电机，所述X轴模组上设有用于驱动推动气缸移动的第二电机。

3.按照权利要求2所述的应用于高端曝光机的三轴实时对位装置，其特征在于，所述第一电机和第二电机均为步进电机。

4.按照权利要求3所述的应用于高端曝光机的三轴实时对位装置，其特征在于，所述Y轴模组侧面设有与X轴模组相连的第一拖链，所述X轴模组侧面设有与推动气缸相连的第二拖链。

5.按照权利要求4所述的应用于高端曝光机的三轴实时对位装置，其特征在于，所述第一拖链下方设有用于支撑第一拖链的第一拖链钣金，第二拖链下方设有用于支撑第二拖链的第二拖链钣金。

6.按照权利要求1所述的应用于高端曝光机的三轴实时对位装置，其特征在于，所述机械手的手抓为吸盘。

7.按照权利要求1至6任一项所述的应用于高端曝光机的三轴实时对位装置，其特征在于，所述X轴模组和所述Y轴模的有效行程的左右限位上均设有光电感应开关。