[实用新型]一种用于多线切割机的收线轴以及多线切割机

说明书

技术领域

本实用新型涉及多线切割机领域，具体而言涉及一种用于多线切割机的收线轴以及多线切割机。

背景技术

在半导体行业，多线切割为硅片制备过程中的一个重要工艺。多线切割机的操作原理为切割线从放线轴开始缠绕，由小滑轮送至切割区域，在砂浆的配合作用下对晶棒进行切割，再由小滑轮将切割线送至收线轴。

对于大硅片例如12寸的硅片的生产线，在切割晶棒的过程中需要使用大量的切割线。因此，完成一次晶棒的切割后，送线轴的新切割线会缠绕在收线轴上。在完成几次切割后，收线轴即缠绕满线。继续进行晶棒的切割加工，则需要更换空的收线轴。

目前针对更换空的收线轴有以下问题：

1.收线轴的主要材质为不锈钢，更换一次全新的空收线轴成本很高。

2.对缠绕在收线轴的切割线，进行切割去除的方法。但由于切割线材质，需要另有切割机去进行切割，成本也很高。在切割过程中，切断的切割线会产生粉尘，对工作人员的健康造成威胁。且切断后的切割线不完整，不利于回收。

因此，鉴于上述问题的存在，本实用新型提出一种新的用于多线切割机的收线轴以及多线切割机。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型一方面提供一种用于多线切割机的收线轴，包括：

第一承压板；

第二承压板，与所述第一承压板相对设置；

筒体，设置在所述第一承压板和第二承压板之间，所述筒体的中心为空腔，其中，所述筒体包括若干个筒体部，每个所述筒体部的两端分别可拆卸的固定安装在所述第一承压板上和所述第二承压板上。

示例性地，相邻所述筒体部之间存在间隔，和/或，所述若干个筒体部围成圆柱形的所述筒体。

示例性地，在所述第一承压板上设置有若干第一插槽，在所述第二承压板上设置有若干第二插槽，每个所述筒体部的两端均设置有至少一个突起部，其中，一端的所述突起部插合至所述第一插槽中，另一端的所述突起部插合至所述第二插槽中。

示例性地，每个所述突起部的厚度从所述突起部与所述筒体部相结合的一端开始向外逐渐减小。

示例性地，所述突起部沿所述筒体的轴向方向的截面的形状为梯形。

示例性地，在每个所述筒体部的两端各设置有一个所述突起部，该突起部的一端与所述筒体部完全接合，所述突起部沿所述筒体的径向方向的截面的形状为扇环形，该扇环形的圆心位于所述筒体的轴线上。

示例性地，每个所述筒体部具有相同的尺寸，和/或，所述若干个筒体部的数量为4个。

示例性地，所述第一承压板和所述第二承压板的中心区域均设置有通孔，所述通孔与所述空腔相对。

示例性地，所述第一承压板、第二承压板以及所述筒体部均为不锈钢材质。

本实用新型还提供一种多线切割机，所述多线切割机包括前述的收线轴。

本实用新型的收线轴包括第一承压板和第二承压板以及设置在第一承压板和第二承压板之间的筒体，该筒体的中心为空腔，其中，所述筒体包括若干个筒体部，每个所述筒体部的两端分别可拆卸的固定安装在所述第一承压板上和所述第二承压板上，该收线轴拆卸和组装方便，在将收线轴轴体完全拆除后，即可实现收线轴和废切割线的分离，可以避免使用对缠绕在收线轴的切割线进行切割去除的方法，节约了成本，避免了粉尘的产生，并且废切割线完整，可以进行回收再利用，同时收线轴组装后也可以继续使用，避免了因更换全新的空收线轴而导致的高成本问题。

附图说明

通过结合附图对本实用新型实施例进行更详细的描述，本实用新型的上述以及其它目的、特征和优势将变得更加明显。附图用来提供对本实用新型实施例的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中，相同的参考标号通常代表相同部件或步骤。

附图中：

图1示出了目前一种线切割机的操作原理图；

图2示出了目前一种切割缠绕有废切割线的收线轴的操作原理图；

图3A示出了本实用新型的一实施例中的收线轴的立体示意图；

图3B示出了本实用新型的一实施例中的收线轴的俯视图；

图3C示出了本实用新型的一实施例中的收线轴的正视图；

图4A示出了本实用新型的一实施例中的一个筒体部的正视图；

图4B示出了本实用新型的一实施例中的一个筒体部的左视图；

图5A示出了本实用新型的一实施例中的缠绕满废旧切割线的收线轴的立体示意图；