[实用新型]一种探针接触测试系统

权利要求书

1.一种探针接触测试系统，其特征在于，包括：

机架(1)；

设于机架(1)上的、供测试芯粒固定并带动所述测试芯粒沿横向和纵向移动的载片台机构(2)；以及，

若干设于所述机架(1)上的、固定有若干对测试芯粒进行接触测试的探针组件(7)的、带动所述探针组件(7)竖向上下移动以接触所述测试芯粒的探针座(3)。

2.根据权利要求1所述的一种探针接触测试系统，其特征在于，所述探针座(3)包括：

座体(31)；

设于所述座体(31)且竖向布置的滚珠丝杠(32)，所述滚珠丝杠(32)包括：丝杆(321)，以及螺纹装配于所述丝杆(321)的、被所述丝杆(321)传动以竖向上下移动的滑套(322)；

固定于所述座体(31)的、受一控制中心控制并带动所述丝杆(321)动作的驱动机构(33)；以及，

供所述探针组件(7)固定的、固定装配于所述滑套(322)的安装机构(34)。

3.根据权利要求2所述的一种探针接触测试系统，其特征在于，所述驱动机构(33)包括：

通过一电机座固定于所述座体(31)的伺服电机(331)；以及，

设于所述丝杆(321)和所述伺服电机(331)的转轴之间的、带动所述丝杆(321)沿竖向轴线转动的传动件(332)。

4.根据权利要求3所述的一种探针接触测试系统，其特征在于，所述探针座(3)还包括：固定于所述座体(31)的、设有若干散热孔(351)的、以阻止外界物体撞击所述伺服电机(331)的防护罩(35)。

5.根据权利要求2所述的一种探针接触测试系统，其特征在于，所述安装机构(34)包括：

供所述探针组件(7)固定的安装板(341)；以及，

固定于所述安装板(341)的相对于所述探针组件(7)的一侧、固定装配于所述滑套(322)的支座(342)。

6.根据权利要求5所述的一种探针接触测试系统，其特征在于，所述探针座(3)还包括：

固定于所述机架(1)的底板(343)；

横向滑动式装配于所述底板(343)的第一板(344)，

设于所述第一板(344)和所述底板(343)之间的、驱使所述第一板(344)相对于所述底板(343)横向滑移的第一微调组件(345)；以及，

纵向滑动式装配于所述第一板(344)的、固定于所述座体(31)的第二板(346)，

设于所述第一板(344)和所述第二板(346)之间的、驱使所述第二板(346)相对于所述第一板(344)纵向滑移的第二微调组件(347)。

7.根据权利要求1所述的一种探针接触测试系统，其特征在于，所述机架(1)包括：

供所述载片台机构(2)固定的下台面板(11)；

与所述下台面板(11)平行布置的、供所述探针座(3)固定的上台面板(12)，所述上台面板(12)设有供所述测试芯粒漏出以和所述探针组件(7)进行接触测试的预留孔(121)，所述探针座(3)安装于所述预留孔(121)周围；以及，

设于所述上台面板(12)和所述下台面板(11)的两侧之间的支撑结构(13)。

8.根据权利要求1所述的一种探针接触测试系统，其特征在于，所述载片台机构(2)包括：

供所述测试芯粒固定的、带动所述测试芯粒沿竖向轴线作圆周运动的承载组件(21)；

供所述承载组件(21)固定的、驱动所述承载组件(21)相对于所述机架(1)横向移动的横向驱动组件(22)；以及，

供所述横向驱动组件(22)固定的、驱动所述承载组件(21)及所述横向驱动组件(22)相对于所述机架(1)纵向移动的纵向驱动组件(23)。

9.根据权利要求1所述的一种探针接触测试系统，其特征在于，所述探针接触测试系统还包括:设于所述机架(1)上、以观察所述测试芯粒相对于所述探针组件(7)位置的显微镜(4)。

10.根据权利要求9所述的一种探针接触测试系统，其特征在于，所述显微镜(4)通过铰接件(5)设于所述机架(1)上，所述铰接件(5)上螺纹连接有抵接以固定所述显微镜(4)的锁紧件(6)。