[实用新型]一种发光器件测试系统的光参数测试装置有效
| 申请号： | 201720801906.2 | 申请日： | 2017-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN207050960U | 公开（公告）日： | 2018-02-27 |
| 发明（设计）人： | 杨波;刘振辉;韦日文;李景均 | 申请（专利权）人： | 深圳市矽电半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/04 | 分类号： | G01M11/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 发光 器件 测试 系统 参数 装置 | ||
1.一种发光器件测试系统的光参数测试装置，其特征在于，包括：
机座(1)；
设于所述机座(1)上、用于对被测发光器件的光参数进行收集并测试的收光组件(31)；以及，
用于驱动所述收光组件(31)靠近一载片台(2)中被测发光器件的位置以进行光参数收集或远离所述载片台(2)以便所述载片台(2)移动至退片位置以取下被测元器件的驱动机构(32)。
2.根据权利要求1所述的一种发光器件测试系统的光参数测试装置，其特征在于，所述收光组件(31)包括：
用于与被测发光器件的发光面接触以收集被测发光器件的光参数的积分球(311)；
承载所述积分球(311)的积分球安装座(312)；
用于夹持所述积分球(311)的积分球夹具(313)；以及，
与所述积分球(311)连接、用于接收并分析所述积分球(311)所收集的光参数的光学测试件。
3.根据权利要求2所述的一种发光器件测试系统的光参数测试装置，其特征在于，所述积分球(311)的开口处设有用于贴合于被测发光器件的发光面的接触板(33)，所述接触板(33)采用透光材料制成。
4.根据权利要求3所述的一种发光器件测试系统的光参数测试装置，其特征在于，所述驱动机构(32)包括：
穿设于所述机座(1)的固定板(321)；
滑移连接于所述固定板(321)上、与所述积分球安装座(312)固定的移动座(322)；
设于所述固定板(321)一侧的丝杠(323)，所述丝杠(323)的螺母座连接于所述移动座(322)；以及，用于驱动所述丝杠(323)活动的驱动电机(324)。
5.根据权利要求4所述的一种发光器件测试系统的光参数测试装置，其特征在于，所述固定板(321)上设有滑轨(325)，所述移动座(322)上设有在所述滑轨(325)上滑移的滑块(326)。
6.根据权利要求4所述的一种发光器件测试系统的光参数测试装置，其特征在于，所述固定板(321)设有固定于所述载片台(2)的延伸板(327)。
7.根据权利要求4所述的一种发光器件测试系统的光参数测试装置，其特征在于，所述固定板(321)上设有光电传感器(51)，所述移动座(322)上设有用于隔挡所述光电传感器(51)所发射光源以感应所述移动座(322)位置的挡片(52)。
8.根据权利要求1所述的一种发光器件测试系统的光参数测试装置，其特征在于，所述机座(1)上设有用于容置所述收光组件(31)的让位缺口(6)。
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