[实用新型]平板电极结构和等离子体沉积设备

权利要求书

1.一种平板电极结构，用于等离子体沉积设备，包括：

至少一个阴极(2)和一个阳极(1)，且这些阴极(2)和阳极(1)之间依次交替设置；

所述平板电极结构还包括电极支架，用于支撑所述阴极(2)和所述阳极(1)；

其特征在于：至少有一个阳极(1)内形成有第一送气通道，且在所述阳极(1)朝向阴极(2)的一面的中部开有第一出气口(12)，在所述阳极(1)的边缘开有第一进气口(11)；

气体从所述第一进气口(11)进入所述第一送气通道，从所述第一出气口(12)排出，形成等离子体。

2.根据权利要求1所述的平板电极结构，其特征在于：所述第一出气口(12)包括：若干个第一出气孔(121)，且这些第一出气孔(121)呈阵列分布。

3.根据权利要求2所述的平板电极结构，其特征在于：在所述阳极(1)中，至少有一个阳极(1)位于两个阴极(2)之间，且这些位于两个阴极(2)之间的阳极(1)的朝向阴极(2)的两面都开有第一出气口(12)；

其中，位于同一个阳极(1)上不同的两个面上的第一出气孔(121)之间相互交错设置。

4.根据权利要求1所述的平板电极结构，其特征在于：至少有一个所述阴极(2)内形成有第二送气通道，且在所述阴极(2)朝向阳极(1)的一面的中部开有第二出气口(22)，在所述阴极(2)的边缘开有第二进气口(21)。

5.根据权利要求4所述的平板电极结构，其特征在于：所述第二出气口(22)包括：若干个第二出气孔(221)，且这些第二出气孔(221)呈阵列分布。

6.根据权利要求5所述的平板电极结构，其特征在于：所述第一出气口(12)包括若干个第一出气孔(121)；

其中，在每对相邻的阳极(1)和阴极(2)上，所述阳极(1)的第一出气口(12)上的出气孔的开孔位置与所述阴极(2)的第二出气口(22)上的出气孔的开孔位置相互交错设置。

7.根据权利要求4所述的平板电极结构，其特征在于：所述第一出气口(12)和/或所述第二出气口(22)为圆形、矩形或椭圆形。

8.根据权利要求1所述的平板电极结构，其特征在于：所述阳极(1)和/或所述阴极(2)可拆卸设置。

9.一种等离子体沉积设备，其特征在于：包括权利要求1至7中任意一项所述的平板电极结构；

所述等离子体设备还包括：

气源(3)，用于供应气体；

第一进气通道(31)，与所述气源(3)连接，从所述平板电极结构的一侧向着所述阴极(2)和阳极(1)之间送气；

第二进气通道(32)，与所述气源(3)和所述第一进气口(11)相连接，用于向所述第一送气通道内送气。

10.根据权利要求9所述的等离子体沉积设备，其特征在于：

所述第一进气通道(31)通过第一气体流量计(33)与所述气源(3)连接；

所述第二进气通道(32)通过第二气体流量计(34)与所述气源(3)连接。