[实用新型]激光溅射离子源的发生装置

权利要求书

1.一种激光溅射离子源的发生装置，包括离子源的靶体；其特征在于：还包括反应源，所述反应源上设有一通孔，还包括设置于反应源后侧的脉冲激光器，所述脉冲激光器射出的激光束经过透镜聚焦后穿过通孔打在靶体前端的A面上；所述靶体前端的A面与反应源前侧的B面面接触，所述靶体相对反应源前侧的B面做自转和上下往复滑动的动作。

2.如权利要求1所述的激光溅射离子源的发生装置，其特征在于：还包括第一驱动机构，所述第一驱动机构带动所述靶体做自转动作，所述第一驱动机构包括一固定于安装板上的第一驱动电机，所述第一驱动电机的输出轴与靶体同轴连接。

3.如权利要求2所述的激光溅射离子源的发生装置，其特征在于：所述第一驱动机构还包括与第一驱动电机的输出轴同轴连接的一导向柱，所述导向柱的尾端设有一后挡板，还包括一套管，所述套管的内壁对称设有沿套管轴向设置的滑槽，所述导向柱的外壁上设有沿导向柱轴线方向设置的滑带，所述套管套在导向柱上，所述滑带匹配安装于滑槽内，所述套管可相对导向柱轴向移动，与后挡板相向设置的套管的端部与后挡板间隔设置，套管的前端设有一前挡板，位于前挡板和后挡板之间的套管上套有弹簧，所述弹簧对所述套管施加向前的推力；所述靶体同轴与套管的前端连接。

4.如权利要求3所述的激光溅射离子源的发生装置，其特征在于：所述套管的前端设有一管件，所述靶体的尾端设有一杆，所述管件的侧壁上设有螺纹孔，螺纹孔内设有锁紧螺栓，所述杆插在管件内，所述锁紧螺栓的端部顶在杆的侧壁上。

5.如权利要求4所述的激光溅射离子源的发生装置，其特征在于：所述管件上套有一直线轴承，所述直线轴承通过轴承套与安装板连接，且所述管件可相对直线轴承轴向移动。

6.如权利要求4所述的激光溅射离子源的发生装置，其特征在于：所述安装板的下表面上设有两组丝杆套筒，每组丝杆套筒包括两个丝杆套筒并前后同轴设置，每组丝杆套筒中的两个丝杆套筒中设有丝杆，所述丝杆的两端分别通过固定于底座板上的轴承设置，其中一个丝杆的端部上连接有第二驱动电机，第二驱动电机安装于底座板上。

7.如权利要求4所述的激光溅射离子源的发生装置，其特征在于：还包括第二驱动机构，所述第二驱动机构包括固定于底座上的直线推杆电机，所述直线推杆电机上的推杆纵向向上顶在底座板的中部，位于底座板的四个角处分别设有一导向孔，位于导向孔下方的底座上设有与导向孔的位置一一对应的导向杆，所述导向杆贯穿导向孔设置，且所述底座板可沿导向杆上下移动。

8.如权利要求1所述的激光溅射离子源的发生装置，其特征在于：所述靶体呈圆柱体状。

9.如权利要求1所述的激光溅射离子源的发生装置，其特征在于：所述靶体包括铁、铜、金、铝。