[实用新型]坩埚、蒸发源及蒸镀设备

权利要求书

1.一种坩埚，包括坩埚本体，其特征在于，所述坩埚本体包括：

分别设置有加热元件的内加热层和外加热层，其中所述外加热层在所述内加热层的外围，围绕所述内加热层设置，所述外加热层与所述内加热层之间的空间形成为待蒸镀材料的容纳空间。

2.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述坩埚本体的第一端面上设置有用于待蒸镀材料蒸发时离开所述坩埚本体的开口；其中，所述内加热层从与所述第一端面相对的第二端面朝所述第一端面延伸，且所述内加热层的远离所述第二端面的一端与所述第一端面之间具有预设距离。

3.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述坩埚本体包括形成内部空间的壳体，其中所述外加热层与所述壳体相连接，所述内加热层设置于所述内部空间的中心位置。

4.根据权利要求2所述的坩埚，其特征在于，所述外加热层内设置相互分离的第一加热元件和第二加热元件，且沿着从所述第二端面到所述第一端面的方向，所述第一加热元件和所述第二加热元件依次排列。

5.根据权利要求4所述的坩埚，其特征在于，所述第一加热元件和所述第二加热元件分别为以所述内加热层为中心绕设的加热丝。

6.根据权利要求4或5所述的坩埚，其特征在于，所述第一加热元件和所述第二加热元件分别连接一加热源。

7.根据权利要求2所述的坩埚，其特征在于，所述内加热层内设置相互分离的第三加热元件和第四加热元件，且沿着从所述第二端面到所述第一端面的方向，所述第三加热元件和所述第四加热元件依次排列。

8.根据权利要求7所述的坩埚，其特征在于，所述第三加热元件和所述第四加热元件分别呈柱体形状。

9.根据权利要求2所述的坩埚，其特征在于，所述坩埚还包括：

导流罩，包括多个叶片；其中所述导流罩包括第一状态和第二状态；在所述第一状态，多个所述叶片收叠在所述内加热层与所述第一端面之间的空间，所述容纳空间与所述开口之间具有气流通路；在所述第二状态，多个所述叶片在所述坩埚本体的内部呈展开状态，遮挡部分所述气流通路；

联动结构，与所述导流罩相连接；通过所述联动结构，所述导流罩在所述第一状态与所述第二状态之间切换。

10.根据权利要求9所述的坩埚，其特征在于，在所述第二状态，多个所述叶片在所述坩埚本体的内部展开至位于同一平面，且相邻的所述叶片之间具有间隔空间。

11.根据权利要求9所述的坩埚，其特征在于，所述联动结构包括：

叶片底座，设置于所述内加热层与所述第一端面之间；

轴体，固定于所述叶片底座上，且朝所述第一端面的方向延伸；

轴套，套设于所述轴体上，且能够相对于所述轴体朝靠近或远离所述第一端面的方向移动；所述轴套与每一所述叶片相连接，通过所述轴套带动所述叶片朝靠近或远离所述第一端面的方向移动，所述导流罩在所述第一状态与所述第二状态之间切换；

驱动元件，与所述轴套连接，通过所述驱动元件，所述轴套能够相对于所述轴体朝靠近或远离所述第一端面的方向移动。

12.根据权利要求11所述的坩埚，其特征在于，所述驱动元件包括气压驱动件或者液压驱动件。

13.根据权利要求11所述的坩埚，其特征在于，与所述叶片底座相连接设置有挡把，所述挡把与所述叶片底座之间形成插设空间；

其中，所述导流罩在所述第一状态与所述第二状态之间切换时，每一所述叶片分别穿设于所述插设空间中。

14.一种蒸发源，其特征在于，包括权利要求1至13任一项所述的坩埚。

15.一种蒸镀设备，其特征在于，包括权利要求14所述的蒸发源。