[实用新型]一种接触式干涉仪的平面工作台有效
申请号: | 201720790597.3 | 申请日: | 2017-07-03 |
公开(公告)号: | CN207112251U | 公开(公告)日: | 2018-03-16 |
发明(设计)人: | 薛文英 | 申请(专利权)人: | 苏州华徕光电仪器有限公司 |
主分类号: | F16M11/04 | 分类号: | F16M11/04;F16M11/06;F16M11/16 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司32224 | 代理人: | 董建林,王丹 |
地址: | 215153 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 接触 干涉仪 平面 工作台 | ||
1.一种接触式干涉仪的平面工作台,包括支柱(1),支柱(1)的顶部设置有台座(4),其特征在于,所述台座(4)的一端通过紧固螺丝(2)与支柱(1)连接,所述台座(4)上设置有至少两个支承钢球,所述支承钢球的顶部设置有工作台面(5),贯穿所述台座(4)的另一端设置有锁紧螺丝(3)且锁紧螺丝(3)的末端延伸入工作台面(5)内,所述锁紧螺丝(3)设置有调整螺母(8)且调整螺母(8)位于工作台面(5)和台座(4)之间。
2.根据权利要求1所述的一种接触式干涉仪的平面工作台,其特征在于,所述台座(4)上设置有第一支承钢球(6)、第二支承钢球(7)和第三支承钢球(9)。
3.根据权利要求2所述的一种接触式干涉仪的平面工作台,其特征在于,第一支承钢球(6)、第二支承钢球(7)和第三支承钢球(9)的位置构成等边三角形的三个顶点。
4.根据权利要求1所述的一种接触式干涉仪的平面工作台,其特征在于,所述工作台面(5)上设置有水平仪。
5.根据权利要求4所述的一种接触式干涉仪的平面工作台,其特征在于,所述支柱(1)的顶部呈倒凸台状。
6.根据权利要求3所述的一种接触式干涉仪的平面工作台,其特征在于,所述台座(4)上设置有与第一支承钢球(6)、第二支承钢球(7)和第三支承钢球(9)相对应的弧面凹槽。
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