[实用新型]一种硅片隐裂分选装置及PECVD全自动上料机

权利要求书

1.一种硅片隐裂分选装置，包括硅片隐裂检测系统和传送轨道，所述硅片隐裂检测系统包括红外发射装置以及红外接收装置，其特征在于：所述红外发射装置与所述红外接收装置分别位于所述传送轨道的两侧，且所述红外发射装置位于所述传送轨道的上方或下方；所述传送轨道为三段式传送轨道，包括沿第一方向输送的第一传送轨道、沿第二方向输送的第二传送轨道以及沿第三方向输送的第三传送轨道，所述第一传送轨道、第二传送轨道以及第三传送轨道之间通过衔接轨道进行衔接，所述硅片隐裂检测系统设置在所述第一传送轨道范围。

2.根据权利要求1所述的一种硅片隐裂分选装置，其特征在于：所述衔接轨道仅能容纳一片所述硅片通过，且所述衔接轨道与所述第一传送轨道、第二传送轨道、第三传送轨道相配合。

3.根据权利要求1所述的一种硅片隐裂分选装置，其特征在于：所述衔接轨道的输送方向在所述第一方向、第二方向和第三方向间切换。

4.根据权利要求3所述的一种硅片隐裂分选装置，其特征在于：所述第一方向和所述第三方向相同，且垂直于所述第二方向。

5.根据权利要求1所述的一种硅片隐裂分选装置，其特征在于：所述红外接收装置垂直于所述第一方向设置。

6.根据权利要求5所述的一种硅片隐裂分选装置，其特征在于：所述红外接收装置为线性相机。

7.根据权利要求6所述的一种硅片隐裂分选装置，其特征在于：所述的红外发射装置所发出的红外线与所述硅片呈45°角。

8.根据权利要求1所述的一种硅片隐裂分选装置，其特征在于：所述硅片隐裂分选装置还包括隐裂片承载盒。

9.根据权利要求8所述的一种硅片隐裂分选装置，其特征在于：所述隐裂片承载盒设置在所述第二传送轨道远离所述衔接轨道的一端。

10.一种PECVD全自动上料机，包括控制系统、清洗花篮和插片花篮，其特征在于：还包括设置在所述清洗花篮和所述插片花篮之间的如权利要求1-9任意一项所述的硅片隐裂分选装置。