[实用新型]一种冷凝泵

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种泵体技术领域，尤其是涉及一种冷凝泵。

背景技术

冷凝泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。冷凝泵是获得清洁真空的极限压力最低、抽气速率最大的真空泵，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。因其洁净无污染、效率高、抽速大、高可靠性等突出优势，被广泛的应用于科学研究实验室、乃至工业生产等众多领域，如半导体材料制作、平板显示器生产/测试设备、太阳能制造业、真空镀膜、热真空系统等。

冷凝泵是获得清洁真空的极限压力最低、抽气速率最大的真空泵，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。在低温泵内设有由液氦或制冷机冷却到极低温度的冷板。它使气体凝结，并保持凝结物的蒸汽压力低于泵的极限压力，从而达到抽气作用。低温抽气的主要作用是低温冷凝、低温吸附和低温捕集。①低温冷凝：气体分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的气体层上，其平衡压力基本上等于冷凝物的蒸气压。抽空气时，冷板温度必须低于25K；抽氢时，冷板温度更低。低温冷凝抽气冷凝层厚度可达10毫米左右。②低温吸附：气体分子以一个单分子层厚(10-8厘米数量级)被吸附到涂在冷板上的吸附剂表面上。吸附的平衡压力比相同温度下的蒸气压力低得多。如在20K时氢的蒸气压力等于大气压力，用20K的活性炭吸氢时吸附平衡压力则低于10-8帕。这样就可能在较高温度下通过低温吸附来进行抽气。③低温捕集：在抽气温度下不能冷凝的气体分子，被不断增长的可冷凝气体层埋葬和吸附，一般说来，泵的极限压力就是冷板温度下的被冷凝气体的蒸气压力。温度为120K时，水的蒸气压已低于10-8帕。温度为20K时，除氦、氖和氢外，其他气体的蒸气压也低于10-8帕。但由于被抽容器和低温冷板的温度不同，泵的极限压力高于冷凝物的蒸气压。对于室温下的容器，低温板为20K时，泵的极限压力约为冷凝物蒸气压力的4倍。目前现有的冷凝泵结构复杂，安装不方便，运行稳定性能不高。

现有的冷凝泵，存在整体固定不稳固，长时间工作的状态下，联轴器的罩壳，以及泵体等部件容易与底座之间发生松动，影响冷凝泵的正常运作。

针对上述技术问题，故需要进行改进。

实用新型内容

本实用新型是为了克服上述现有技术中的缺陷，提供一种冷凝泵，整体固定稳固，不易发生位置移动，保证了冷凝工作的正常进行。

为了达到以上目的，本实用新型所采用的技术方案是：一种冷凝泵，用于输送冷凝水，包括底座，底座呈上窄下宽的锥形，底座上端可拆卸固设有泵体和驱动装置，泵体设有进液端和出液端，泵体内设有泵轴，所述驱动装置的输出轴通过联轴器与泵轴连接；泵轴由驱动装置驱动其转动，泵轴上固设有叶轮，叶轮由驱动装置驱动其转动；联轴器的外部设有罩壳，所述罩壳两端分别设有侧板，罩壳下部的两端分别设有折边，折边朝向罩壳的外侧折弯，所述折边通过固定卡板与底座固定连接，固定卡板包括第一卡板和第二卡板，第一卡板和第二卡板之间倾斜呈钝角，第一卡板与罩壳两端的折边可拆卸固定连接，第二卡板与底座的侧面可拆卸固定连接，泵体的一侧设有防动板，防动板呈L形，其包括水平板和竖直板，水平板与底座的上端可拆卸固定连接，竖直板与泵体的一端紧密靠接。

作为本实用新型的一种优选方案，所述泵体内设有出液腔，出液腔的外部直径大于内部直径。

作为本实用新型的一种优选方案，所述泵体内设有进液腔，进液腔的外部直径小于内部直径。

作为本实用新型的一种优选方案，所述的驱动装置为驱动电机。

作为本实用新型的一种优选方案，所述底座下端设有支撑脚。

作为本实用新型的一种优选方案，所述支撑脚呈下端宽上端窄的锥形。

作为本实用新型的一种优选方案，所述支撑脚的数量为四个，分别固设在底座下端的四个角处。

作为本实用新型的一种优选方案，所述驱动装置下端固设有支撑座，支撑座与底座可拆卸固定连接。

作为本实用新型的一种优选方案，所述泵体下端固设有支座，支座与底座可拆卸固定连接。

作为本实用新型的一种优选方案，还设有泵盖。

本实用新型的有益效果是：本实用新型整体固定稳固，不易发生位置移动，保证了冷凝工作的正常进行。

附图说明

图1是本实用新型实施例的结构示意图。