[实用新型]一种半导体晶圆凸块电阻测试装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及电阻测试技术领域，具体为一种半导体晶圆凸块电阻测试装置。

背景技术

电阻测试仪，是测量物体导电性的一种仪器，电阻测试仪被广泛的应用于电气安全检查与接地工程竣工验等场合。电阻测试仪的种类比较多，包括接地电阻测试仪、绝缘电阻测试仪、接地电阻测试仪、直流电阻测量仪、表面电阻测试仪以及回路电阻测试仪。直流电阻测试仪是新一代变压器直流电阻的测试仪器，它能根据不同型号的电力变压器自动选择测试电流，以最快的速度显示测试结果。直流电阻测试仪并且具有存储、打印、放电指示等功能，内置不掉电存储器，可长期保存测量数据，液晶显示器的采用使得该仪器人机界面良好，是直流电阻测试工作中的首选设备。

但是，现有技术中的电阻测试仪，特别是用于测量半导体晶圆凸块的电阻测试仪，其结构单一，对晶圆凸块的测试不便于固定和测量，使用不便，而且传统的电阻测试仪体积较大，不便于携带，使用操作较为困难，工作效率低下。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体晶圆凸块电阻测试装置，以解决上述背景技术中提出的结构单一，对晶圆凸块的测试不便于固定和测量，使用不便，而且传统的电阻测试仪体积较大，不便于携带，使用操作较为困难，工作效率低下的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体晶圆凸块电阻测试装置,包括箱盖和箱体，所述箱体的上端设置有工作台，所述工作台的上端对称设置有两个平行布置的滑轨，所述滑轨之间设置有两个平行布置的直尺，所述工作台内部设置有LED灯，所述LED灯的上端设置有透光板，所述工作台的一端侧面嵌入设置有显示屏，所述显示屏的一侧设置有操作界面，所述箱体上端远离显示屏的一侧设置有竖直布置的后侧板，所述后侧板通过铰链转动连接有箱盖，所述箱盖内部位于铰链上端位置处设置有固定板，所述固定板的中心位置处设置有立柱，所述立柱上端套有套筒，所述套筒上端设置有支架，且套筒上端位于支架的一侧设置有紧固旋钮，所述支架的另一端设置有检测筒，所述检测筒的下端通过转筒转动连接有夹具，所述夹具对称设置有两个，且两个夹具分别通过弹簧对称连接有两个导电端子，所述固定板靠近工作台的一侧通过转轴连接有固定杆，所述箱体的内部设置有恒流电源，所述恒流电源的一侧设置有STC89C52RC单片机，所述STC89C52RC单片机的一侧设置有AD9200转换器，所述AD9200转换器的一侧设置有储存器，所述LED灯、STC89C52RC单片机、AD9200转换器、导电端子、显示屏均与恒流电源电性连接。

进一步的，所述检测筒垂直于支架设置，所述支架垂直于立柱设置，所述立柱垂直于固定板设置。

进一步的，所述固定杆对称设置有两个，且固定杆的长度与固定板到箱体之间的距离相等。

进一步的，所述直尺与滑轨之间垂直设置。

进一步的，所述支架的长度小于箱盖长度值的一半。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

（1）本实用新型采用活动式的测量架结构，检测筒便于旋转收纳在箱体中，较少了占用空间，便于携带，同时便于操作。

（2）本实用新型设置有夹具式的导电端子，导电端子的弹性结构便于测量不同的晶圆结构，提高测量的准确定，提高工作效率。

（3）本实用新型工作台设置有测量结构，便于测量晶圆凸块的外观数据，取代了测量机的作用，功能多样，实用性强。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图；

图2是本实用新型的正视图；

图3是本实用新型的外观图；

图4是本实用新型的工作台俯视图。

附图标记中：1-检测筒；2-支架；3-箱盖；4-立柱；5-套筒；6-紧固旋钮；7-固定板；8-铰链；9-转轴；10-后侧板；11-固定杆；12-箱体；13-恒流电源；14-LED灯；15-STC89C52RC单片机；16-透光板；17-AD9200转换器；18-储存器；19-工作台；20-滑轨；21-直尺；22-导电端子；23-弹簧；24-夹具；25-转筒；26-操作界面；27-显示屏。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。