[实用新型]一种双面检查载具

权利要求书

1.一种双面检查载具，其特征在于，包括：

第一吸附台(10)，其台面具有第一放置位；

第二吸附台(20)，其台面具有与所述第一放置位相向设置的第二放置位；

所述第一放置位上的薄片的一面贴向第一放置位，另一面暴露且能够被吸附到第二放置位上。

2.根据权利要求1所述的双面检查载具，其特征在于，第一放置位和/或第二放置位上设有压力传递通道，且所述压力传递通道顶端与所述台面平齐；当压力传递通道的内腔压力低于吸附台所处的环境压力时，位于所述压力传递通道顶端上的薄片被吸附在平整台面上。

3.根据权利要求2所述的双面检查载具，其特征在于，所述压力传递通道包括至少一个与内腔连通、成型于所述第一放置位上的第一开孔(30)。

4.根据权利要求3所述的双面检查载具，其特征在于，所述压力传递通道末端与负压装置连通。

5.根据权利要求2所述的双面检查载具，其特征在于，所述第一放置位周边具有用于定位所述薄片的定位柱(12)。

6.根据权利要求5所述的双面检查载具，其特征在于，在所述第一吸附台(10)的台面上，定位柱(12)周边具有若干用于降低所述定位柱(12)受到的第二吸附台(20)的台面冲击压力的凸起面(13)。

7.根据权利要求6所述的双面检查载具，其特征在于，所述凸起面(13)的高度不低于所述定位柱(12)的高度；所述凸起面(13)的面积之和大于所述定位柱(12)的面积之和。

8.根据权利要求1所述的双面检查载具，其特征在于，第一吸附台(10)和/或第二吸附台(20)的台面非镜面处理。

9.根据权利要求4所述的双面检查载具，其特征在于，所述压力传递通道末端具有至少一个与所述第一开孔(30)通过内腔连通的第二开孔(40)；所述第二开孔(40)适配于负压装置的吸附导管。

10.根据权利要求1-9任一所述的双面检查载具，其特征在于，所述薄片为FPC。