[实用新型]测量装置有效
| 申请号： | 201720776161.9 | 申请日： | 2017-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN207009404U | 公开（公告）日： | 2018-02-13 |
| 发明（设计）人： | 侯玉;苏梦;齐素芳;衡阳;张春华;郑旭然;邢国强 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人： | 龙礼妹 |
| 地址： | 215129 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 测量 装置 | ||
1.一种测量装置，其特征在于，包括：壳体、称重组件和亲水检测组件；
所述称重组件设于所述壳体内，包括称重平台；
所述亲水检测组件包括滴水件和测量件，所述滴水件用于向所述称重平台滴加水滴，所述测量件用于测量滴落于所述称重平台的水滴的直径。
2.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述壳体包括顶壁，所述顶壁开设有滴水孔，所述滴水件将水自所述滴水孔滴落于所述称重平台。
3.根据权利要求2所述的测量装置，其特征在于，所述滴水孔为多个，多个所述滴水孔均与所述称重平台正对。
4.根据权利要求2所述的测量装置，其特征在于，所述亲水检测组件还包括限位件，所述限位件与所述滴水件连接，且所述限位件与所述滴水孔配合限制所述滴水件和所述称重平台沿竖直方向的相对位置。
5.根据权利要求4所述的测量装置，其特征在于，所述限位件为限位环，所述限位环套设于所述滴水件且所述限位环的直径大于所述滴水孔的直径。
6.根据权利要求1-5任一项所述的测量装置，其特征在于，所述滴水件包括滴管。
7.根据权利要求2所述的测量装置，其特征在于，所述测量件为设于所述滴水孔周边的刻度尺。
8.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述称重组件还包括显示屏，所述显示屏与所述称重平台电连接。
9.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述测量装置还包括金属离子检测组件，所述金属离子检测组件包括烘干件，所述烘干件设于所述壳体内。
10.根据权利要求9所述的测量装置，其特征在于，所述烘干件为红外灯，所述红外灯照向所述称重平台。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
