[实用新型]一种碳化硅生产用长晶炉支撑装置有效
| 申请号： | 201720771012.3 | 申请日： | 2017-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN207062426U | 公开（公告）日： | 2018-03-02 |
| 发明（设计）人： | 宗艳民;刘家朋 | 申请（专利权）人： | 山东天岳先进材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B35/00 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司37205 | 代理人： | 苗峻 |
| 地址： | 250101 山东省济南市高新区新*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 生产 用长晶炉 支撑 装置 | ||
1.一种碳化硅生产用长晶炉支撑装置，包括坩埚托盘(1)和支撑座(2)，其特征在于：所述支撑座(2)的中部设有支撑柱(3)，所述支撑柱(3)的侧面铰接有防护门(4)，所述支撑座(2)的内部设有螺纹孔(5)，所述螺纹孔(5)的内部螺接有螺纹杆(6)，所述螺纹杆(6)的上端连接有支杆(7)，所述坩埚托盘(1)设置在支杆(7)的上端，所述坩埚托盘(1)的下端设有与支杆(7)匹配的插孔(8)，所述坩埚托盘(1)的上端设有坩埚(9)。
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅生产用长晶炉支撑装置，其特征在于：所述螺纹杆(6)设有三组，且所述螺纹杆(6)等角度分布在支撑柱(3)的侧面。
3.根据权利要求1所述的一种碳化硅生产用长晶炉支撑装置，其特征在于：所述螺纹杆(6)的外侧固定安装有六角螺母(10)。
4.根据权利要求1所述的一种碳化硅生产用长晶炉支撑装置，其特征在于：所述插孔(8)与支杆(7)的组数一致，且所述插孔(8)的直径大于支杆(7)的直径0.5-1cm。
5.根据权利要求1所述的一种碳化硅生产用长晶炉支撑装置，其特征在于：所述支杆(7)与螺纹杆(6)之间通过转动轴承(11)活动连接。
6.根据权利要求1所述的一种碳化硅生产用长晶炉支撑装置，其特征在于：所述支撑柱(3)的长度低于螺纹杆(6)与支杆(7)的长度之和5-10cm。
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