[实用新型]在线硅膜废气处理系统

权利要求书

1.一种在线硅膜废气处理系统，其特征在于，包括引流系统、焚烧系统、除尘系统和洗涤塔，其中，所述引流系统、焚烧系统、除尘系统和洗涤塔依次相连，引流系统包括引流罩和引流管，焚烧系统包括焚烧炉以及内置的燃烧器，洗涤塔中设置有喷淋装置，所述引流系统置于镀膜废气管路后，使得镀膜废气经焚烧、除尘和洗涤后由烟囱排出。

2.根据权利要求1所述的在线硅膜废气处理系统，其特征在于，还包括冷却系统，所述冷却系统位于焚烧系统和除尘系统之间，用于对焚烧后的废气进行冷却。

3.根据权利要求1或2所述的在线硅膜废气处理系统，其特征在于，还包括引风装置，所述引风装置设置在引流系统和焚烧系统之间，为引流系统提供负压。

4.根据权利要求1或2所述的在线硅膜废气处理系统，其特征在于，引流罩为多孔闸板，引流管上设有可调阀，通过调节可调阀开度，调节进气量。

5.根据权利要求1或2所述的在线硅膜废气处理系统，其特征在于，所述除尘系统为布袋除尘器。

6.根据权利要求1或2所述的在线硅膜废气处理系统，其特征在于，所述洗涤塔还包括储水池、水泵和调节阀，调节阀设置在引水管路上，用于调节喷淋装置的喷水量。

7.根据权利要求6所述的在线硅膜废气处理系统，其特征在于，所述洗涤塔还包括除沫器，其布置在所述喷淋装置的上方。