[实用新型]一种高稳定性单晶生长炉

说明书

本实用新型公开了一种高稳定性单晶生长炉，包括炉体和炉筒，所述炉体上固接有支架，所述支架上设有提升机，所述提升机的底部固接调节杆，所述调节杆通过连接装置和炉筒相连。本结构的单晶生长炉通过提升机调整炉筒的高度，从而提高炉筒和坩埚之间的距离，提高产能。炉筒通过连接装置和提升机相连，确保炉筒的稳定，防止左右摇摆。本实用新型结构简单、设计巧妙，有效提高产能降低生产成本。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉领域，尤其涉及一种高稳定性的单晶生长炉。

背景技术

单晶炉是制备硅单晶的电子专用设备，是现代制造技术与晶体生长工艺技术 完美结合的体现，是新一代集机、电、光、仪、计算机一体化的装备。硅单晶生长炉是生产单晶硅棒的设备，传统的硅单晶生长炉的炉筒与石英坩埚之间的位置是固定不变的，炉筒由炉体的盖板固定支撑，炉筒的下口位置低于石英坩埚的上口位置，所以每次往石英坩埚内投放的硅原料量就受到限制，导致硅单晶生长炉的产能受到限制，提高了成本。

实用新型内容

本实用新型的目的是解决现有技术的不足，提供一种确保炉筒稳定移动、大容量的单晶生长炉。

本实用新型采用的技术方案是：一种高稳定性单晶生长炉，包括炉体和炉筒，所述炉体上固接有支架，所述支架上设有提升机，所述提升机的底部固接调节杆，所述调节杆通过连接装置和炉筒相连；所述连接装置包括两个法兰盘，所述法兰盘的两端固接螺杆，所述法兰盘之间通过螺栓相连，所述位于上部的法兰盘上设有若干定位杆，所述定位杆穿过上部的法兰盘和位于下部的法兰盘相接。

作为本实用新型的进一步改进，所述定位杆的数量为三个，呈三角形排布。

作为本实用新型的进一步改进，所述定位杆的数量为四个，呈正方形排布。

本实用新型采用的有益效果是：本结构的单晶生长炉通过提升机调整炉筒的高度，从而提高炉筒和坩埚之间的距离，提高产能。炉筒通过连接装置和提升机相连，确保炉筒的稳定，防止左右摇摆。本实用新型结构简单、设计巧妙，有效提高产能降低生产成本。

附图说明

图1为本实用新型示意图。

图2为本实用新型的连接装置示意图。

图中所示：1 炉体，2 支架，3 炉筒，4 提升机，5 调节杆，6 连接装置，61 螺杆，62法兰盘，63 螺栓，64 定位杆。

具体实施方式

下面结合图1和图2，对本实用新型做进一步的说明。

如图所示，一种高稳定性单晶生长炉，包括炉体1和炉筒3，所述炉体1上固接有支架2，所述支架2上设有提升机4，所述提升机4的底部固接调节杆5，所述调节杆5通过连接装置6和炉筒3相连；所述连接装置6包括两个法兰盘62，所述法兰盘62的两端固接螺杆61，所述法兰盘62之间通过螺栓63相连，所述位于上部的法兰盘62上设有若干定位杆64，所述定位杆64穿过上部的法兰盘和位于下部的法兰盘相接。

炉筒通过提升机能够进行上下位置的调整，从而扩大炉筒和坩埚之间的空间，能够投放更多的原材料。炉筒和提升机的调节杆之间的连接通过连接装置，连接装置通过法兰盘相连，由于炉筒本身的体积和重量的原因，容易出现定中部准确和左右摇摆的现象。因此在法兰盘上设置定位杆，通过定位杆的限制，确保炉筒和调节杆相连稳定，定中准确，防止左右摇摆的现象出现。

为进一步提高炉筒和调节杆之间的稳定性，定位杆64的数量为三个，呈三角形排布。三个定位杆的距离调节一致，利用三角形的结构确保整个连接装置稳定。

为进一步提高炉筒和调节杆之间的稳定性，定位杆64的数量为四个，呈正方形排布。四个定位杆的距离调节一致，利用三角形的结构确保整个连接装置稳定，同时保证法兰盘的强度不会被破坏。