[实用新型]一种碱洗硅料的设备

说明书

本实用新型公开了一种碱洗硅料的设备，包括硅料处理装置、导轨和悬臂吊具，其中，硅料处理装置包括预冲洗装置、碱洗装置、第一纯水装置、酸中和装置、第二纯水装置、超声波装置和干燥装置，待清洗的硅料依次经过预冲洗装置、碱洗装置、第一纯水装置、酸中和装置、第二纯水装置、超声波装置和干燥装置，实现对待清洗硅料的清洗。本申请采用碱性清洗液，具体为氢氧化钠进行清洗，缓解了浓酸对人体的影响，氢氧化钠不含有污染离子对环境无危害，后期处理也非常容易。同时氢氧化钠的制备更加容易，价格也比氢氟酸和硝酸更加低廉，使用碱洗有更低的成本优势。

技术领域

本实用新型涉及半导体材料技术领域，具体的说，涉及一种碱洗硅料的设备。

背景技术

高纯硅料是半导体和太阳能行业的基础原料，在使用前需要对其表面进行清洗，此外在各自的生产过程中产生的边角料也需要清洗再作为原料回炉。清洗共分为多个工序，常规的清洗使用氢氟酸和硝酸的混合溶液。

氢氟酸和硝酸都具有极强的腐蚀性和挥发性，容易给员工带来极大的人身伤害。同时清洗后的混酸的废气、废水、废物对环境的污染非常严重，尤其是氟离子属于严重污染物处理难度大，对于生产厂家来说环保压力巨大。此外，采用人工清洗，使得人工操作人力成本高，每一个工序都要有人操作，工序多耗费人力大。

因此，如何提供一种碱洗硅料的设备，降低清洗液对操作者的影响，是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种碱洗硅料的设备，降低清洗液对操作者的影响。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种碱洗硅料的设备，其包括：

硅料处理装置，所述硅料处理装置包括：预冲洗装置，所述预冲洗装置用于对硅料进行预冲洗；碱洗装置，所述碱洗装置用于对预冲洗后的硅料进行碱洗；第一纯水装置，所述第一纯水装置用于对碱洗后的硅料进行纯水清洗；酸中和装置，用于对中和碱洗后的硅料；第二纯水装置，所述第二纯水 装置用于对酸中和后的硅料进行纯水清洗；超声波装置，所述超声波装置用于对清洗后的硅料进行超声波清洗；干燥装置，所述干燥装置用于对超声波清洗后的硅料进行干燥；

导轨，所述导轨依次连接所述硅料处理装置的预冲洗装置、碱洗装置、第一纯水装置、酸中和装置、第二纯水装置、超声波装置和干燥装置；

用于悬挂硅料的悬臂吊具，所述悬臂吊具可沿所述导轨移动且能够使所述硅料进入所述硅料处理装置；

所述碱洗装置的碱性清洗液为氢氧化钠。

优选地，上述的设备中，所述预冲洗装置、所述碱洗装置、所述第一纯水装置、所述酸中和装置、所述第二纯水装置、所述超声波装置和所述干燥装置和所述导轨均集成在同一工作台上。

优选地，上述的设备中，所述悬臂吊具通过丝杠与所述导轨连接，所述悬臂吊具可沿所述丝杠的轴线方向移动以调节硅料与所述硅料处理装置的距离。

优选地，上述的设备中，所述干燥装置为加热烘干机。

优选地，上述的设备中，所述干燥装置的加热温度为50℃-100℃。

优选地，上述的设备中，所述酸中和装置的酸性溶液为盐酸。