[实用新型]烘烤设备及包含所述烘烤设备的涂胶设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及显示器制造技术领域，尤其涉及一种烘烤设备及包含所述烘烤设备的涂胶设备。

背景技术

目前，在光刻制程中，对基板涂布光阻(也称光刻胶)时需要用到烘烤设备，如图1所示，所述烘烤设备常包括烘烤部10、传送部11(例如机械手)及冷却部12，烘烤部10由多个加热炉100组成，冷却部12由多个冷却炉120组成，多个加热炉100和多个冷却炉120共用同一传送部11。

具体烘烤过程为：首先，将每个加热炉放置一待烘烤产品(例如基板)并开始加热并计时；接着，待第一个加热炉中的待烘烤产品到达预设加热时间时，接着利用传送部将经第一个加热炉加热后的烘烤产品输送至冷却炉冷却，再利用传送部再取一待烘烤产品输送至第一个加热炉内加热，接着利用传送部将经第二个加热炉加热后的烘烤产品输送至冷却炉冷却，依此类推，直至仅剩下一待烘烤产品，此时仅需等待加热炉中的待烘烤产品满足加热时间后利用输送部直接将烘烤产品取出并输送冷却炉冷却。

但是，经上述烘烤设备生产的同一批次产品涂布的光阻厚度存在不一致的问题，严重后续对产品的工艺制程，大大降低了产品良率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种烘烤设备，以解决基于现有技术中烘烤设备批量制备产品的光阻厚度存在不一致的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种烘烤设备，所述烘烤设备，包括：多个彼此独立的子烘烤部件，每个子烘烤部件包括一加热部件、一冷却部件及一与所述加热部件和所述冷却部件连通的传送部件。

可选的，在所述的烘烤设备中，所述加热部件包括：一加热腔体和至少一设置于加热腔体内的加热平台。

可选的，在所述的烘烤设备中，所述加热部件为加热炉。

可选的，在所述的烘烤设备中，所述加热部件为加热箱。

可选的，在所述的烘烤设备中，所述冷却部件包括：一冷却腔体和至少一设置于冷却腔体内的冷却平台。

可选的，在所述的烘烤设备中，所述冷却部件为冷却炉。

可选的，在所述的烘烤设备中，所述冷却部件为冷却箱。

可选的，在所述的烘烤设备中，所述传送部件为机械手臂。

可选的，在所述的烘烤设备中，所述传送部件为传送带。

本实用新型还提供一种涂胶设备，所述涂胶设备包括上述烘烤设备。

在本实用新型所提供的烘烤设备及包含所述烘烤设备的涂胶设备中，所述烘烤设备包括：多个彼此独立的子烘烤部件，每个子烘烤部件包括一加热部件、一冷却部件及一与所述加热部件和所述冷却部件连通的传送部件，通过设置彼此独立的子烘烤部件，使得不同子烘烤部件中的产品可单独进行烘烤而互补干扰，便于对每个子烘烤部件的烘烤时间的调整及控制，提高同一批次产品所涂布的光阻厚度的一致性，提高了产品良率。

附图说明

图1是现有技术中一烘烤设备的结构示意图；

图2是本实用新型一实施例中烘烤设备的结构示意图。

附图标记说明：

图1中：烘烤部-10；加热炉-100；传送部-11；冷却部-12；冷却炉-120。

图2中：子烘烤部件-20；加热部件-200；传送部件-201；冷却部件-202。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的烘烤设备作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

经过发明人对现有烘烤设备长期研究发现，导致同一批次产品涂布的光阻厚度存在不一致的问题的主要原因在于：烘烤设备中多个加热炉和多个冷却炉共用同一传送部，对于多数已完成加热的加热炉中的产品而言，并不能及时取出，只有在传送部完成前一产品的传输之后才能放入新产品，大部分加热炉中产品加热结束被取出时间点为待传送部完成前一加热炉中产品取出后又放入新产品后方可进行，仅少数已完成加热的加热炉中的产品可直接在加热结束后直接取出，由此可见，由于传送部的工作流程使得不同加热炉中产品进行加热的时间有所差异，从而影响产品上涂布的光阻厚度，出现同一批次中产品涂布的光阻厚度存在不一致的问题。此外，可以想到的是：传送产品的过程中产品经过加热仍然具备一定的热量，后续急剧的冷却，产品表面某些材料的热胀冷缩也会产生光阻厚度不一致的问题。