[实用新型]高容差光栅读数头有效
| 申请号： | 201720755138.1 | 申请日： | 2017-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN206919909U | 公开（公告）日： | 2018-01-23 |
| 发明（设计）人： | 刘红忠;史永胜;尹磊;陈邦道 | 申请（专利权）人： | 常州瑞丰特科技有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/38 | 分类号： | G01D5/38;G01B11/02 |
| 代理公司： | 苏州广正知识产权代理有限公司32234 | 代理人： | 张利强 |
| 地址： | 213000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高容差 光栅 读数 | ||
【权利要求书】：
1.一种高容差光栅读数头，其特征在于，包括：指示光栅、反射式主光栅和成像面，入射光照射到反射式主光栅上，在每条线纹反光处发生衍射现象，衍射光与入射光在指示光栅后方的Talbot平面处发生干涉成像得到Talbot成像面，由半导体感光元件接收到信号。
2.根据权利要求1所述的高容差光栅读数头，其特征在于，所述的指示光栅为三维结构化的相位光栅。
3.根据权利要求2所述的高容差光栅读数头，其特征在于，所述的指示光栅的正面为镀铬区，具有周期性变化的栅状结构，背面为正弦曲面。
4.根据权利要求2所述的高容差光栅读数头，其特征在于，所述的指示光栅的正面为镀铬区，具有周期性变化的栅状结构，背面为台阶面，指示光栅的厚度为1-5mm。
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