[实用新型]一种混床超纯水系统

说明书

技术领域

本实用新型属于超纯水系统领域，具体公开了一种混床超纯水系统。

背景技术

超纯水，电阻率达到18MΩ*cm的水。常用于集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水。

现有的超纯水系统还存在有制取的超纯水品质不够高、系统会生成水垢的问题，且水质容易受到系统运行变化的影响，不能有效地制取稳定优良的超纯水。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种混床超纯水系统。

本实用新型为实现其技术效果而采用的解决方案为：

一种混床超纯水系统，该混床超纯水系统包括原水箱、多介质过滤器、活性炭过滤器、软水箱、阻垢剂添加设备、一级RO主机、一级纯水箱、二级RO主机、二级纯水箱、杀菌装置、精密过滤器、混床和超纯水箱；所述原水箱、多介质过滤器、活性炭过滤器、软水箱、阻垢剂添加设备、一级RO主机、一级纯水箱、二级RO主机、二级纯水箱、杀菌装置、精密过滤器、混床和超纯水箱依次通过管道工艺连接。

优选地，本实用新型提供的原水箱和多介质过滤器以及二级纯水箱和杀菌装置之间的管道上均设置有用于稳定系统供水压力的水泵。

优选地，本实用新型提供的多介质过滤器采用的滤料是石英砂。

优选地，本实用新型提供的一级RO主机和二级RO主机均设置有增压泵和反渗透装置；增压泵和反渗透装置通过管道工艺连接。

优选地，本实用新型提供的杀菌装置为紫外线杀菌装置。

优选地，本实用新型提供的管道的材质为PVC。

本实用新型的有益效果为：RO主机后配置有混床，可以对水进一步脱盐，制取较高品质的超纯水；混床可以用来降低水中的硬度，和软水箱配合可以有效软化超纯水；短时间运行条件变化对出水水质影响不大，间断运行对出水水质的影响小，恢复到停运前水质所需的时间比较短。

为使本实用新型的技术方案及技术效果更加清楚、明确，以下结合说明书附图和具体实施方式对本实用新型公开的混床超纯水系统做详细说明。

附图说明

图1：本实用新型公开的混床超纯水系统示意图。

标识说明：1-原水箱，2-多介质过滤器，3-活性炭过滤器，4-软水箱，5-阻垢剂添加设备，6-一级RO主机，7-一级纯水箱，8-二级RO主机，9-二级纯水箱，10-杀菌装置，11-精密过滤器，12-混床，13-超纯水箱，14-水泵，15-增压泵，16-反渗透装置。

具体实施方式

请参考图1，本实用新型优选实施例中公开了一种混床超纯水系统，该混床超纯水系统包括原水箱1、多介质过滤器2、活性炭过滤器3、软水箱4、阻垢剂添加设备5、一级RO主机6、一级纯水箱7、二级RO主机8、二级纯水箱9、杀菌装置10、精密过滤器11、混床12和超纯水箱13；原水箱1、多介质过滤器1、活性炭过滤器3、软水箱4、阻垢剂添加设备5、一级RO主机6、一级纯水箱7、二级RO主机8、二级纯水箱9、杀菌装置10、精密过滤器11、混床12和超纯水箱13依次通过管道工艺连接。

具体地，在本实用新型优选实施例中，原水箱1和多介质过滤器2以及二级纯水箱9和杀菌装置10之间的管道上均设置有用于稳定系统供水压力的水泵14；多介质过滤器2采用的滤料是石英砂；一级RO主机6和二级RO主机8均设置有增压泵15和反渗透装置16；增压泵15和反渗透装置16通过管道工艺连接；杀菌装置10为紫外线杀菌装置；管道的材质为PVC。

工作过程：原水先放置于原水箱1内一段时间，可将水中一定的大泥沙颗粒以及其他可沉降物质沉淀在箱底；然后经多介质过滤器2处理，可去除原水中含有的泥沙、铁锈、胶体物质、悬浮物等颗粒在20um以上的物质；之后经活性炭过滤器3处理，可去除水中的色素、异味、大量生化有机物、降低水的余氯值及农药污染物和除去水中的三卤化物以及其它的污染物；之后通过软水箱4处理软化后，再经过一级RO主机6和二级RO主机8处理可以有效去掉水中的大部分盐；然后通过杀菌装置10进行杀菌处理；之后经精密过滤器11处理，可对水中残留的悬浮物、非曲直粒物及胶体等物质去除；最后经混床12处理可进一步地去除盐、软化水质后进入超纯水箱13中储存起来。