[实用新型]气液分离器

说明书

技术领域

本实用新型涉及化学液分配技术领域，特别涉及气液分离器。

背景技术

集成电路通常采用半导体晶片来制造，而这种晶片通常是易脆材料制作的，在制作集成电路元器件期间，这些晶片通常要经过若干处理步骤，在处理过程中晶片会暴露于或者承受各种不同配比的溶液的处理，以达到特定效果，而这些不同配比的化学液需经过一个CDM输送系统分配系统输送至工作机台。现有气液分离器产品的结构特点是第一出口管跟第二出口管在同一方向，并且第二出口管有一根管子通到分离器底部。在该分配系统中，往往会有液体介质中含有气泡，这时就需要将气泡和液体分离，否则会影响设备的稳定性、导致生产效率降低。

故急需一种可实现起液介质分离，提高设备稳定性和分离效率，制作简单的气液分离器。

实用新型内容

鉴于以上问题，本实用新型提供了一种可实现起液介质分离，提高设备稳定性和分离效率，制作简单的气液分离器。

为了实现上述实用新型目的，本实用新型提供以下技术方案：

本实用新型中的气液分离器，包括气液分离器主体、入口管、第一出口管、第二出口管和第三出口管，所述入口管设于气液分离器主体上方，所述第一出口管设于气液分离器主体的中间偏下处，所述第一出口管是由管子和接头组合而成，所述第二出口管设于气液分离器主体顶端，所述第二出口管设于入口管上方，所述第二出口管是由管子和接头组合而成，所述第三出口管设于气液分离器主体顶端，所述第三出口管是由管子和接头组合而成。

所述入口管、第一出口管、第二出口管和第三出口管的管子和接头均是通过焊接连接而成。

所述气液分离器主体中间段的管直径大于两端的管直径。

所述第一出口管的管口朝左。

所述第二出口管的管口朝上。

所述第三出口管的管口朝下。

本实用新型的优点和有益效果在于提供一种可实现起液介质分离，提高设备稳定性和分离效率，制作简单的气液分离器。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为气液分离器结构示意图。

附图标记说明

1.入口 2.第一出口 3.第二出口 4.第三出口

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。

气液分离器，如图1所示，包括气液分离器主体、入口管1、第一出口管2、第二出口管3和第三出口管4，入口管1设于气液分离器主体上方，第一出口管2设于气液分离器主体的中间偏下处，第一出口管2是由管子和接头组合而成，第二出口管3设于气液分离器主体顶端，第二出口管3设于入口管1上方，第二出口管3是由管子和接头组合而成，第三出口管4设于气液分离器主体顶端，第三出口管4是由管子和接头组合而成。

入口管1、第一出口管2、第二出口管3和第三出口管4的管子和接头均是通过焊接连接而成。

气液分离器主体中间段的管直径大于两端的管直径。

第一出口管2的管口朝左。第二出口管3的管口朝上。第三出口管4的管口朝下。

该新型气液分离器的工作原理：含少量气泡的液体介质从入口管1进入，在管道内分离，气泡上浮，液体下降；液体经过管道分离后，经由第一出口管2流出分离器，第一出口管2流出的液体不含气泡；气泡在管道上部聚集，到一定程度时，经由第二出口管3排除气泡；如果需要更换或维修气液分离器，须关闭入口管1，第一出口管2，然后将管道内液体由第三出口管4排除，排空后的气液分离器就可以维修或者更换。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。