[实用新型]一种具有内参比气氛的气体传感器芯片有效
| 申请号： | 201720720309.7 | 申请日： | 2017-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN206945595U | 公开（公告）日： | 2018-01-30 |
| 发明（设计）人： | 袁春;李纯钢 | 申请（专利权）人： | 深圳市铭特科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/26 | 分类号： | G01N27/26 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司44223 | 代理人： | 王震宇 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 内参 气氛 气体 传感器 芯片 | ||
【权利要求书】：
1.一种具有内参比气氛的气体传感器芯片，包括基体单元、设置在所述基体单元上的内电极、外电极以及加热器，其特征在于,还包括连接所述内电极的泵电流产生单元，所述泵电流产生单元用于在所述内电极上施加一个微安级别的泵电流，所述泵电流在所述内电极上泵氧得到内参比气氛,且所述芯片上不具有用于引入参比空气气氛的空气腔道。
2.如权利要求1所述的气体传感器芯片，其特征在于,还包括监测芯片的电信号变化的监测单元。
3.如权利要求2所述的气体传感器芯片，其特征在于,所述泵电流产生单元和所述监测单元基于同一个控制电路实现。
4.如权利要求1至3任一项所述的气体传感器芯片，其特征在于,所述基体单元为多层氧化锆陶瓷。
5.如权利要求1至3任一项所述的气体传感器芯片，其特征在于,所述内电极和所述外电极为铂电极。
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