[实用新型]多方向的压电超声发生器有效
| 申请号： | 201720717543.4 | 申请日： | 2017-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN206838453U | 公开（公告）日： | 2018-01-05 |
| 发明（设计）人： | 王德波;辛济昊;白雪婧 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司32200 | 代理人： | 刘莎 |
| 地址： | 210023 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多方 压电 超声 发生器 | ||
【权利要求书】：
1.多方向的压电超声发生器，其特征在于，该压电超声发生器以硅为衬底，在硅衬底上设有三角形桥墩，在所述三角形桥墩的三个侧面分别设有一个MEMS悬臂梁；每个所述MEMS悬臂梁的一端固定在三角形桥墩上，另一端为自由端；每个所述MEMS悬臂梁的下方的硅衬底上分别设有一个MEMS悬臂梁下拉电极；每个MEMS悬臂梁下拉电极上设有压电材料层。
2.根据权利要求1所述的多方向的压电超声发生器，其特征在于，相邻两个所述MEMS悬臂梁之间呈120°角。
3.根据权利要求1所述的多方向的压电超声发生器，其特征在于，所述压电材料为ZnO。
4.根据权利要求1所述的多方向的压电超声发生器，其特征在于，所述硅衬底为高阻硅SOI衬底。
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