[实用新型]多换能器模块和电子装置

权利要求书

1.一种换能器模块，其特征在于，包括：

支撑衬底；

帽盖，所述帽盖耦合至所述支撑衬底并且与其限定腔室；

压力换能器，所述压力换能器容纳在所述腔室内、具有第一敏感元件，所述第一敏感元件被配置成用于检测环境压力并且根据所述检测到的环境压力生成第一换能信号；

声换能器，所述声换能器容纳在所述腔室内、具有第二敏感元件，所述第二敏感元件被配置成用于检测声波并且根据所述检测到的声波生成第二换能信号；以及

处理芯片，所述处理芯片至少部分地容纳在所述腔室内、操作性地耦合至所述压力换能器以及至所述声换能器，以用于接收所述第一和第二换能信号，

其中，所述压力换能器和所述声换能器形成堆叠。

2.根据权利要求1所述的换能器模块，其特征在于，所述第一敏感元件在距所述第二敏感元件一定距离处延伸，并且覆盖所述第二敏感元件。

3.根据权利要求1所述的换能器模块，其特征在于，所述声换能器被安排在所述压力换能器上。

4.根据权利要求2或权利要求3所述的换能器模块，其特征在于，所述支撑衬底具有面向所述压力换能器的窗口，所述窗口限定所述声波的以及所述环境压力的访问开口；所述堆叠包括在所述第二敏感元件与所述压力换能器之间的空腔，所述空腔至少部分地形成所述声换能器的前腔室，

所述压力换能器集成在具有通孔的第一传感器芯片中，所述通孔被适配成用于设置所述窗口与所述空腔流体连通以形成所述声波到所述第二敏感元件的访问路径。

5.根据权利要求2或权利要求3所述的换能器模块，其特征在于，所述帽盖具有窗口，所述窗口面向所述腔室并且形成所述声波的以及所述环境压力的访问开口；所述堆叠具有在所述第二敏感元件与所述压力换能器之间的第一空腔，所述第一空腔至少部分地形成所述声换能器的后腔室，

所述声换能器集成在具有通孔的第二传感器芯片中，所述通孔被设计成用于安排所述窗口与所述第一空腔流体连通以形成所述环境压力到所述第一敏感元件的访问路径。

6.根据权利要求5所述的换能器模块，其特征在于，所述压力换能器集成在悬置在所述支撑衬底之上的第一传感器芯片中，由此限定在所述第一传感器芯片与所述支撑衬底之间的第二空腔，

所述第一传感器芯片具有通孔，所述通孔被设计成用于安排所述第一空腔与所述第二空腔流体连通以形成所述声换能器的扩大的后腔室。

7.根据权利要求2或权利要求3所述的换能器模块，其特征在于，所述压力换能器通过来自以下各项的一项或多项耦合至所述支撑衬底：胶层、粘合层和阻焊掩模。

8.根据权利要求2或权利要求3所述的换能器模块，其特征在于，所述压力换能器具有第一表面和第二表面，所述第一表面面向所述腔室，所述第一敏感元件向所述第一表面延伸，所述第二表面与所述第一表面相反，并且所述压力换能器通过安排在距彼此一定距离处的焊料凸块在所述第一表面处进一步耦合至所述支撑衬底以形成朝向所述腔室的一条或多条流体路径，

所述支撑衬底具有面向所述第一敏感元件的窗口，形成所述环境压力朝向所述第一敏感元件的访问路径并且与所述焊料凸块之间的所述一条或多条流体通道一起形成所述声波到所述第二敏感元件的访问路径。

9.根据权利要求2或权利要求3所述的换能器模块，其特征在于，所述压力换能器具有第一表面和第二表面，所述第一敏感元件在所述第一表面处延伸，并且所述第二表面与所述第一表面相反，所述压力换能器通过焊料凸块和完全围绕所述焊料凸块的液密环形区域在所述第一表面处进一步耦合至所述支撑衬底，

所述支撑衬底具有面向所述第一敏感元件的窗口并且形成所述环境压力朝向所述第一敏感元件的访问路径，

所述帽盖具有面向所述腔室的对应窗口并且形成所述声波到所述第二敏感元件的访问路径。

10.根据权利要求2或权利要求3所述的换能器模块，其特征在于，所述声换能器通过形成液密框状或环状区域的胶层耦合至所述压力换能器。