[实用新型]一种用于EBSD测试的装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及EBSD测试工艺装备领域，尤其涉及一种用于EBSD 测试的装置。

背景技术

目前，在对钢铁材料的电子显微镜分析与研究中，电子背散射花样晶体微区取向与晶体结构的分析技术，简称为EBSD技术，应用日益广泛，EBSD技术的主要特点是在保留扫描电子显微镜的常规特点的同时进行空间分辨率亚微米级的衍射，并给出给出结晶学的数据，根据电子背散射理论，在扫描电镜中进行EBSD测量时，样品法向必须与入射电子束成70度的角度，所以就要求扫描电镜样品台必须进行高度倾斜，同时还要保证样品不会在样品台上产生滑移，这样直接用扫描电镜样品台进行EBSD测量时，样品再样品台上的固定和样品台的倾转造成了EBSD测量前期准备的极大不便。同时，如果样品固定不牢固，还会造成测量时图像的漂移，从而影响测量的精确性，现有技术中，一般将样品通过胶布粘接固定到支承台面上，但是这种方法，样品往往不能粘贴牢固，容易脱落，并且使用样品表面容易被胶布污染而难以清理干净，影响了EBSD测量的精度。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种用于EBSD测试的装置。

本实用新型提供了一种用于EBSD测试的装置，包括底座、支承柱和载物台，所述底座的一侧设有与显微镜相配的镶台，所述底座的另一侧与所述支承柱的一端连接，所述支承柱的另一端设有承载面，所述载物台底面与所述承载面连接，所述载物台设有载物槽，所述载物槽的两侧分别设有夹持装置。

所述载物槽的下方还设有承接面。

所述夹持装置包括螺钉A和螺钉B，螺钉A和螺钉B分别通过螺纹与所述载物槽的两侧连接。

所述螺钉A与所述螺钉B的中心轴线重合。

所述载物台的底面设有支承杆，所述承载面上设有通孔，支承杆套合于通孔内。

所述支承柱端面设有螺孔A和螺钉C，螺孔A与所述通孔相交，螺钉C旋合在螺孔A内，螺钉C的端面将所述支承杆压紧。

所述支承杆上设有承压面。

所述承压面与所述支承杆的中心轴线重合。

所述支承柱的材质是铜或铜合金。

所述底座是圆柱形，所述底座的端面设有若干个螺纹孔B，该螺纹孔B与所述镶台连接，所述支承柱的下端设有螺杆，螺杆旋合在螺纹孔B内。

本实用新型的有益效果在于：

采用本实用新型所提供的用于EBSD测试的装置，包括底座、支承柱和载物台，所述底座的一侧设有与显微镜相配的镶台，所述底座的另一侧与所述支承柱的一端连接，所述支承柱的另一端设有承载面，所述载物台底面与所述承载面连接，所述载物台设有载物槽，所述载物槽的两侧分别设有螺钉A和螺钉B；使用本实用新型提供的技术方案，只需将样品放入载物槽内，使用载物槽两侧面的螺栓对样品进行紧固即可，进一步地，载物槽内还设有承接面，使样品固定可靠，避免了样品掉落，克服了传统胶粘方法难以控制样品水平度及垂直度的问题，也避免了胶布上的粘胶污染样品外表面，使样品可以重复利用，样品固定可靠，减少了EBSD测试所需耗费的时间，提高了EBSD测试效率。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的左视图；

图3是本实用新型支承柱的结构示意图；

图4是本实用新型载物台的俯视图；

图5是本实用新型载物台的左视图。

图中：1-底座，2-支承柱，3-载物台，4-镶台，5-螺钉A，6-螺钉B，7-螺钉C，11-螺纹孔B，21-承载面，24-通孔，25-螺孔A，26- 螺杆，31-载物槽，32-承接面，33-支承杆，34-承压面。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的技术方案作进一步说明，但所要求的保护范围并不局限于所述；

本实用新型提供了一种用于EBSD测试的装置，如图1、图2所示，包括底座1、支承柱2和载物台3，底座1的一侧设有与显微镜相配的镶台4，底座1的另一侧与支承柱2的一端连接，支承柱2的另一端设有承载面21，载物台3底面与承载面21连接，载物台3设有载物槽31，载物槽31的两侧分别设有夹持装置。使用本实用新型提供的技术方案，只需将样品放入载物槽内，使用载物槽两侧面的夹持装置对样品进行紧固即可，使样品固定可靠，克服了传统胶粘方法难以控制样品水平度及垂直度的问题，也避免了胶布上的粘胶污染样品外表面，使样品可以重复利用，样品固定可靠，减少了EBSD测试所需耗费的时间，提高了EBSD测试效率。