[实用新型]一种可消除杂质的双离子束加速器装置有效
| 申请号： | 201720709156.6 | 申请日： | 2017-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN206908934U | 公开（公告）日： | 2018-01-19 |
| 发明（设计）人： | 唐兵;陈立华;崔保群;朱升云;马瑞刚;马鹰俊;黄青华;马燮;蒋渭生 | 申请（专利权）人： | 中国原子能科学研究院 |
| 主分类号： | H05H7/06 | 分类号： | H05H7/06;H05H9/00;H05H7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 102413 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 消除 杂质 离子束 加速器 装置 | ||
1.一种可消除杂质的双离子束加速器装置，其特征在于，该装置包括进气系统(1)、离子源(6)、束流传输元件和靶(13)；
束流传输元件包括杂质消除系统(2)和后端束流传输元件(12)，杂质消除系统(2)由第一质量分析器(7)、双孔选束光阑(8)、聚焦透镜(10)和第二质量分析器(11)组成，其中第一质量分析器(7)和第二质量分析器(11)结构相同，电场、磁场设置方向相反；
进气系统(1)、离子源(6)、第一质量分析器(7)、双孔选束光阑(8)、聚焦透镜(10)、第二质量分析器(11)、后端束流传输元件(12)和靶(13)分别按离子束传输方向顺序设置。
2.根据权利要求1所述的一种可消除杂质的双离子束加速器装置，其特征在于，所述进气系统由气瓶(3)、气管(4)和气体质量流量计(5)连接组成。
3.根据权利要求1所述的一种可消除杂质的双离子束加速器装置，其特征在于，所述后端束流传输元件(12)全部为电元件。
4.根据权利要求1所述的一种可消除杂质的双离子束加速器装置，其特征在于，所述双孔选束光阑(8)和聚焦透镜(10)之间设置有可移动单孔选束光阑(9)。
5.根据权利要求1所述的一种可消除杂质的双离子束加速器装置，其特征在于，所述质量分析器为二极分析磁铁。
6.根据权利要求1所述的一种可消除杂质的双离子束加速器装置，其特征在于，所述质量分析器为速度选择器。
7.根据权利要求1所述的一种可消除杂质的双离子束加速器装置，其特征在于，所述聚焦透镜(10)为左右对称的聚焦透镜(10)。
8.根据权利要求1所述的一种可消除杂质的双离子束加速器装置，其特征在于，所述聚焦透镜(10)为左右对称的透镜组。
9.根据权利要求1所述的一种可消除杂质的双离子束加速器装置，其特征在于，所述聚焦透镜(10)为三圆筒静电单透镜。
10.根据权利要求1所述的一种可消除杂质的双离子束加速器装置，其特征在于，所述聚焦透镜(10)为三单元四极透镜组。
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