[实用新型]一种图形化蓝宝石衬底的光刻装置

权利要求书

1.一种图形化蓝宝石衬底的光刻装置，包括装置本体（1），其特征在于，所述装置本体（1）为空腔结构，所述装置本体（1）的底部内壁上固定安装有底座（2），所述装置本体（1）的内部两侧沿竖直方向安装有两组滑槽（3），两组所述滑槽（3）上滑动安装有安装板（4），所述装置本体（1）顶部内壁上固定安装有推杆电机（5），且推杆电机（5）的输出轴连接安装板（4），所述安装板（4）设有开口，且开口靠近底座（2），所述安装板（4）顶部设有环形槽，所述安装板（4）顶部的内壁上转动安装有第一转轴（6），所述第一转轴（6）的一端固定安装有第一齿轮（7），所述第一齿轮（7）远离开口的一侧安装有把手（8），且把手（8）远离第一齿轮（7）的一端贯穿环形槽，所述安装板（4）两侧壁沿长度方向安装有固定杆（9），所述固定杆（9）中间活动安装有第二齿轮（10），且第二齿轮（10）与第一齿轮（7）啮合，所述安装板（4）靠近开口的两侧壁上对称安装有固定块（11），两组固定块（11）中间安装有蜗杆（12），且蜗杆（12）与第二齿轮（10）啮合，所述蜗杆（12）的两端固定安装有光刻器（13）。

2.根据权利要求1所述的一种图形化蓝宝石衬底的光刻装置，其特征在于，所述底座（2）沿长度方向等距离均匀设有置物槽。

3.根据权利要求1所述的一种图形化蓝宝石衬底的光刻装置，其特征在于，两组所述固定块（11）相靠近的侧壁上设有与蜗杆（12）相匹配的螺纹。

4.根据权利要求1所述的一种图形化蓝宝石衬底的光刻装置，其特征在于，所述底座（2）内设有电热条。

5.根据权利要求1所述的一种图形化蓝宝石衬底的光刻装置，其特征在于，所述安装板（4）的两侧固定安装有滑轮，且滑轮活动安装在滑槽（3）内。

6.根据权利要求1所述的一种图形化蓝宝石衬底的光刻装置，其特征在于，所述装置本体（1）远离滑槽（3）的侧壁为钢化玻璃制成，钢化玻璃的四周设有橡胶条。

7.根据权利要求1所述的一种图形化蓝宝石衬底的光刻装置，其特征在于，所述安装板（4）上设有刻度。