[实用新型]一种低辐射镀膜线玻璃基板输送绝缘辊有效

专利信息
申请号: 201720693699.3 申请日: 2017-06-14
公开(公告)号: CN206872937U 公开(公告)日: 2018-01-12
发明(设计)人: 臧晓良;张山山;邱宏;陈贵云;沈晓晨;罗雨潇;刘宇;郁佳笛 申请(专利权)人: 中建材光电装备(太仓)有限公司
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C03C17/00
代理公司: 苏州创元专利商标事务所有限公司32103 代理人: 马明渡,徐丹
地址: 215434 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 辐射 镀膜 玻璃 输送 绝缘
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及磁控溅射镀膜玻璃生产线技术领域,具体涉及一种低辐射镀膜线玻璃基板输送绝缘辊。

背景技术

低辐射镀膜生产线是通过磁控溅射方式在玻璃基板表面沉积多层金属和非金属膜,达到阻隔红外线和阻止热交换的作用。目前的设计阴极靶位相对固定,玻璃基板在输送辊道上运动,从阴极靶位下通过达到沉积膜层的效果。

腔体相对阴极体为阳极,辊道与腔体连接,当玻璃表面积累的电荷过多时,玻璃膜面容易与腔体导通放电,造成膜面的损坏。

为避免上述情况的发生,目前多采用的是将辊道的轴承使用陶瓷轴承或者轴承座下增加绝缘垫板达到让辊子与腔体绝缘的目的,但陶瓷轴承在运动中会磨损,产生粉末状物质,对分子泵损伤较大,且需要频繁更换,绝缘垫板的问题在于当溅射物质溅射到轴承座上,极易使轴承座导通,达不到绝缘的目的。

目前如CN205398720U专利所述绝缘辊结构复杂,安装困难,且制造成本较高。

发明内容

本实用新型目的是提供一种低辐射镀膜线玻璃基板输送绝缘辊,以解决现有技术存在的结构复杂、安装困难且制造成本较高的问题。

为达到上述目的,本实用新型采用的技术方案是:一种低辐射镀膜线玻璃基板输送绝缘辊,包括一铝管以及两个轴头,所述铝管的两端口的内壁上各覆设有氧化物陶瓷绝缘涂层,所述两个轴头对应嵌设于铝管两端内,轴头与铝管内壁的陶瓷绝缘涂层处构成过盈配合连接,所述两轴头与铝管间以氧化物陶瓷绝缘涂层相绝缘。

上述方案中,所述氧化物陶瓷绝缘涂层是以气相沉积方式附着形成于铝管上。

上述方案中,所述氧化物陶瓷绝缘涂层的厚度为0.5-2mm。最佳,所述氧化物陶瓷绝缘涂层的厚度为1mm。

上述方案中,所述铝管外壁上间隔设有环形凹槽,该环形凹槽的截面为半圆形。

上述方案中,所述铝管管壁上开设有抽气孔。

由于上述技术方案的应用,本实用新型结构简单,安装方便,成本较低廉。

附图说明

图1为本实用新型实施例的结构示意图。

以上附图中:1、铝管;11、氧化物陶瓷绝缘涂层;12、环形凹槽;13、抽气孔;2、轴头;21、键槽;22、弹簧挡圈槽。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述:

实施例:参见图1所示:

一种低辐射镀膜线玻璃基板输送绝缘辊,参见图1所示,包括一铝管1以及两个轴头2,所述铝管1的两端口的内壁上各覆设有氧化物陶瓷绝缘涂层11,所述两个轴头2对应嵌设于铝管1两端内,轴头2与铝管1内壁的陶瓷绝缘涂层11处构成过盈配合连接,所述两个轴头2与铝管1间以氧化物陶瓷绝缘涂层11相绝缘。

参见图1所示,所述铝管1采用工业铝管加工制成,铝管的两端内壁打磨处理后,以气相沉积方式形成所述氧化物陶瓷绝缘涂层11。

参见图1所示,所述氧化物陶瓷绝缘涂层11的厚度为0.5-2mm,最佳为1mm。

参见图1所示,铝管1外壁上间隔设有环形凹槽12,该环形凹槽12环绕铝管1的周向,其截面为半圆形,用于固定辊子胶圈,整个铝管1上均布26个环形凹槽12。所述铝管1管壁上开设有抽气孔13。抽气孔13为带有内螺纹的孔,主要作用是释放辊内气体,加快抽真空速度。

参见图1所示,所述轴头2采用45#钢材质。所述两轴头2中,一者上设有1个键槽21和1个弹簧挡圈槽22,用来安装滚动轴承和曲面齿联轴器使用;另一者上设有1个弹簧挡圈槽22,用于安装滚动轴承。

本实施例生产制作过程如下:

1、在铝管1上加工26个环形凹槽12和2个抽气孔13;

2、通过气相沉积方式在铝管1两端内壁沉积1mm厚的氧化物陶瓷绝缘涂层11;

3、将两个轴头2放置在液氮中冷却1小时取出,迅速放入铝管1两端内,放置数分钟待轴头升至常温,轴头2和铝管1充接触牢固;

4、进行配重等工艺处理。

本实施例结构简单,安装方便,成本较低廉。

上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点,其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施,并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

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